[发明专利]采用6组测力敏感单元的压电式六维力/力矩传感器

说明书

本发明公开了一种采用6组测力敏感单元的压电式六维力/力矩传感器，其属于多维力/力矩测量装置。包括带安装盘和输出电极插座的基座，六组被上下两片绝缘电极板夹住由两种切型压电石英晶片构成的交替均匀分布于该基座安装盘上的测力敏感单元，上盖，内侧密封套筒，信号引出线和绝缘填充材料；其中第一片测力敏感单元偏离X轴一个角度α；在绝缘电极板内侧有对应于石英晶片的成对电极，每对电极均由信号引出线与基座上的输出电极插座连接。本发明具有结构简单紧凑、无冗余敏感单元、刚度大、动态性能好、易于微小型化、制造成本低、对传感器输出信号调理电路需求少的优点，可用于智能机器人、自动化检测、航空航天、机械加工等多个领域。

技术领域

本发明涉及力/力矩传感器，特别涉及六维力/力矩传感器，更具体的说是涉及一种采用6组测力敏感单元的压电式六维力/力矩传感器。

背景技术

六维力传感器是一种能够同时测量空间三维力和三维力矩信息的传感器，在智能机器人、自动化、机械加工、航空航天等领域都有广泛的应用需求。根据六维力传感器对被测量力(力矩)的感知方式，可从传感器敏感机理出发将其以划分为两大类：一类是间接测量型，采用在弹性体上安装敏感元件(如应变片、力敏电阻等)测量六维力引起的弹性体形变来间接得到表示六维力信息的输出信号；此类传感器的设计由于弹性体的存在，使得六维力传感器的结构设计复杂，制作工艺要求高，不利于微小型化，固有频率较低并且存在不易解耦的非线性维间耦合干扰。另一类是直接测量型，采用的敏感元件可直接感知通过刚体传力机构传递的被测力(力矩)，并输出表示六维力信息的输出信号；由于此类传感器不存在“弹性体结构”，因而可基本解决前一类传感器的诸多缺点，公开号为CN101750173A和CN101285723的专利所要求保护的设计即为此类型传感器；但是这两个专利所提的技术方案仍存在使用测力敏感单元过多，后端信号调理电路需求数量过多的缺点，在减小传感器体积、降低制作难度和成本等方面仍然不够好。

发明内容

本发明的目的在于提供一种使用最少测力敏感单元，无需解耦运算，动态特性好，结构更加简单且易于微小型化，制作工艺难度低和对后端信号调理电路需求少的压电式六维力/力矩传感器。

解决所述技术问题的方案是这样一种压电式六维力/力矩传感器，包括内部带有安装盘和外部带有输出电极插座的基座，安装在该基座内部安装盘上的测力敏感单元，夹住该测力敏感单元的上下两片绝缘电极板；紧压在上片绝缘电极板之上的上盖，连接两片绝缘电极板上的电极与基座上输出电极插座的信号引出线，用于固定和绝缘隔离信号引出线的绝缘填充材料，在上盖和基座的内孔处连接二者的内侧密封套筒；其中，所述测力敏感单元由若干片石英晶片构成，这些石英晶片均匀分布在传感器基座安装盘上的三维直角坐标系X、Y平面内一个Z轴通过其圆心的参考圆的圆周上；在所述的两片绝缘电极板内侧的成对电极与各石英晶片相对应。其改进之处是，构成所述测力敏感单元的石英晶片有六片，所述绝缘电极板内侧的成对电极有六对；这六片石英晶片中有三片为Y(0°)切型石英晶片，另三片为X(0°)切型石英晶片，第一片Y(0°)切型石英晶片(j1)布置在所述参考圆(ck)的圆周上，该晶片中心点与所述工作三维直角坐标系原点的连线偏离X轴的角度为α，其余的五片石英晶片按照切型不同依次交替均匀放置在所述参考圆的圆周上，使得相邻两片石英晶片对所述工作三维直角坐标系原点的夹角为60°，并且切型相异；在三片Y(0°)切型石英晶片各自的晶片三维直角坐标系中，其Y轴均与所述传感器基座安装盘上的三维直角坐标系的Z轴平行，其X轴沿所述参考圆的圆周逆时针或顺时针方向同向布置；在三片X(0°)切型石英晶片各自的晶片三维直角坐标系中，其X轴均与所述传感器基座安装盘上的三维直角坐标系的Z轴平行，其Y轴沿所述参考圆的圆周逆时针或顺时针方向同向布置；在所述上下两片绝缘电极板内侧的六对电极构成六个信号输出端，并分别通过信号引出线与各自对应的一个输出电极插座连接。