[发明专利]旋光计量方法及旋光计量装置

权利要求书

1.一种旋光计量方法，其特征在于，包括：

对被检测体以非直角的入射方向入射规定偏光的计量光；

辨别来自所述被检测体的、与所述入射方向不同的方向的反射光中的所述规定偏光的旋光反映成分；以及

基于所述辨别的结果对旋光进行计量。

2.根据权利要求1所述的旋光计量方法，其特征在于，还包括：

从直线偏振光得到所述计量光与参考光；以及

使所述参考光与所述反射光通过合成而干涉，

所述辨别包括使用所述干涉的结果进行所述辨别。

3.根据权利要求2所述的旋光计量方法，其特征在于，还包括：

改变使所述参考光与所述反射光合成之前的所述参考光的光路长度。

4.根据权利要求3所述的旋光计量装置，其特征在于，

所述计量包括使用所述光路长度计量所述旋光。

5.一种旋光计量装置，其特征在于，具备：

计量光照射部，其对被检测体以非直角的入射方向入射规定偏光的计量光；

辨别部，用于辨别来自所述被检测体的、与所述入射方向不同的方向的反射光中的所述规定偏光的旋光反映成分；以及

计量部，其基于所述辨别的结果对旋光进行计量。

6.根据权利要求5所述的旋光计量装置，其特征在于，还具备：

分割部，将直线偏振光分割为所述计量光与参考光；以及

合成部，使所述参考光与所述反射光合成，以使所述参考光与所述反射光干涉，

所述辨别部使用所述干涉的结果辨别所述旋光反映成分。

7.根据权利要求6所述的旋光计量装置，其特征在于，还具备：

光路长度改变机构，改变使所述参考光与所述反射光合成之前的所述参考光的光路长度。

8.根据权利要求7所述的旋光计量装置，其特征在于，

所述计量部使用所述光路长度计量所述旋光。

9.根据权利要求6至8中任一项所述的旋光计量装置，其特征在于，

所述分割部与所述合成部通过共用一个分光镜而构成。

10.根据权利要求5至9中任一项所述的旋光计量装置，其特征在于，

所述计量光照射部具有成为向所述被检测体入射的入射光和从所述被检测体出射的出射光通过的光学前端部的透镜部，通过使通过该透镜部的所述计量光的光轴从所述透镜部的主点偏移，使所述计量光以非直角的入射方向入射至所述被检测体，

所述旋光计量装置被构成为所述反射光通过隔着所述透镜部的主点与所述计量光的光轴对称的位置。