[发明专利]基于分节PSD的差动式振动加速度传感器

权利要求书

1.基于分节PSD的差动式振动加速度传感器，由基座（1），封装外壳（2），半导体激光器（3），分光棱镜（4），夹具（5），参考镜（6），弹性材料块（7），预压弹簧（8），螺钉（9），分节PSD1（10）,分节PSD2（11）,测量镜（12），质量块（13），固定孔（14）组成，其特征在于：半导体激光器（3）固定在封装外壳（2）左下角，分光棱镜（4）通过夹具（5）置于封装外壳（2）内左中部，分光棱镜（4）的入射面与入射激光垂直，质量块（13）通过上表面两侧的螺钉（9）、预压弹簧（8）与弹性材料块（7）刚性连接，质量块（13）上表面正中间用UV胶固定测量镜（12），参考镜（6）通过上表面两侧的螺钉（9）、预压弹簧（8）与弹性材料块（7）刚性连接，并置于封装外壳（2）顶部正对测量镜（12）位置，经分光棱镜（4）产生的相互垂直的入射光分别入射到参考镜（6）和测量镜（12），分节PSD1（10）和分节PSD2（11）置于封装外壳（2）内右面壁中上位置，无振动时参考镜（6）反射光斑入射到分节PSD2（11）中点，测量镜（12）反射光斑入射到PSD1（10）中点，基座（1）通过固定孔（14）安装在设备外壳上。

2.根据权利要求1所述的基于分节PSD的差动式振动加速度传感器，其特征在于：所述的弹性材料块（7）由Co基形变强化型高弹性合金制成，为Co40NiCrMo合金。

3.根据权利要求1所述的基于分节PSD的差动式振动加速度传感器，其特征在于：所述的预压弹簧（8）在没有振动时维持弹性材料块（7）的形变处于线性形变区域的中点。