[发明专利]物理量传感器、高度计、电子设备和移动体

权利要求书

1.一种物理量传感器，其特征在于，

所述物理量传感器具有：

基板，其具有能够挠曲变形的膜片；

传感器元件，其配置在所述基板的所述膜片上；

壁部，其配置在所述基板上，并且在俯视所述基板时所述壁部包围所述传感器元件；

覆盖部，在俯视所述基板时，所述覆盖部的一部分与所述传感器元件重叠，并且所述覆盖部与所述壁部连接；以及

加强部，在俯视所述基板时，所述加强部与所述覆盖部的一部分重叠，并且所述加强部含有热膨胀系数比所述覆盖部的构成材料小的材料。

2.根据权利要求1所述的物理量传感器，其特征在于，

所述加强部含有在所述壁部或所述膜片中含有的材料。

3.根据权利要求1所述的物理量传感器，其特征在于，

所述加强部含有硅。

4.根据权利要求1所述的物理量传感器，其特征在于，

在俯视所述基板时，所述加强部具有格子状的部分。

5.根据权利要求1所述的物理量传感器，其特征在于，

在俯视所述基板时，所述加强部具有放射状的部分。

6.根据权利要求1所述的物理量传感器，其特征在于，

所述加强部被设置在所述覆盖部上。

7.根据权利要求6所述的物理量传感器，其特征在于，

所述覆盖部具有：

第1层，其具备沿厚度方向贯穿的贯穿孔；和

第2层，其被设置成与所述第1层重叠，对所述贯穿孔进行密封，

所述加强部被配置成在俯视所述基板时与所述贯穿孔重叠。

8.根据权利要求1所述的物理量传感器，其特征在于，

所述加强部被埋设于所述覆盖部。

9.根据权利要求8所述的物理量传感器，其特征在于，

所述覆盖部具有：

第1层，其具备沿厚度方向贯穿的贯穿孔；和

第2层，其被设置成与所述第1层重叠，对所述贯穿孔进行密封，

所述加强部被配置于所述第1层和所述第2层之间，并且所述加强部被配置成在俯视所述基板时偏离于所述贯穿孔。

10.根据权利要求1所述的物理量传感器，其特征在于，

所述物理量传感器为检测压力的压力传感器。

11.一种高度计，其特征在于，

所述高度计具备权利要求1所述的物理量传感器。

12.一种电子设备，其特征在于，

所述电子设备具备权利要求1所述的物理量传感器。

13.一种移动体，其特征在于，

所述移动体具备权利要求1所述的物理量传感器。