[发明专利]惯性测量模块及三轴加速度计

权利要求书

1.一种惯性测量模块，其特征在于，包括：

基板，以及位于基板上作为下电极的第一极片(4)，

悬空在基板上方的质量块(1)；所述质量块(1)上设有与第一极片(4)组成Z轴检测电容的上电极；

用于连接基板和质量块(1)的弹性梁，所述弹性梁包括位于X轴方向的两条第一弹性梁(12)以及位于Y轴方向、并与两条第一弹性梁(12)十字交叉连接的第二弹性梁(11)，其中，第二弹性梁(11)的两端连接在基板的锚点(6)上，两条第一弹性梁(12)分别连接质量块(1)；其中，所述两条第一弹性梁(12)沿着质量块(1)X轴方向的中线对称分布，所述第二弹性梁(11)偏离质量块(1)Y轴方向的中线；

所述质量块(1)在Y轴、X轴方向上还分别设置有第一可动电极(9)、第二可动电极(10)；所述基板上设置有用于与第一可动电极(9)、第二可动电极(10)分别组成Y轴检测电容、X轴检测电容的第一固定电极(2)、第二固定电极(3)。

2.根据权利要求1所述的惯性测量模块，其特征在于：所述质量块(1)设置有通孔，所述第一弹性梁(12)连接在通孔两侧的侧壁上。

3.根据权利要求1所述的惯性测量模块，其特征在于：所述第一极片(4)的数量有两个，对称分布在第二弹性梁(11)的两侧。

4.根据权利要求1所述的惯性测量模块，其特征在于：所述第一可动电极(9)和/或第二可动电极(10)分别设置有两个，分别位于质量块(1)相对的两侧。

5.根据权利要求1所述的惯性测量模块，其特征在于：第一可动电极(9)与第一固定电极(2)之间和/或第二可动电极(10)与第二固定电极(3)之间构成梳齿电容结构。

6.一种三轴加速度计，其特征在于：包括两个结构对称的如权利要求1至5任一项所述的惯性测量模块；还包括将两个惯性测量模块中质量块(1)的两侧分别连接起来的连接梁。

7.根据权利要求6所述的三轴加速度计，其特征在于：所述连接梁包括位于X轴方向上的横梁(7)，还包括位于Y轴方向上、一端与横梁(7)连接一端与质量块(1)侧壁连接的纵梁(8)；所述纵梁(8)与第二弹性梁(11)在一条直线上。

8.根据权利要求7所述的三轴加速度计，其特征在于：还设置有连接两条横梁(7)的加强梁(130)，其中，两个惯性测量模块中的第二弹性梁(11)相对于加强梁(130)对称分布。

9.根据权利要求8所述的三轴加速度计，其特征在于：所述加强梁(130)设置有两个，两个加强梁(130)平行设置，与横梁(7)围成一矩形框。

10.根据权利要求9所述的三轴加速度计，其特征在于：还包括位于矩形框内的斜梁(131)。