[发明专利]基板处理装置、基板处理方法、编辑装置以及编辑方法

权利要求书

1.一种基板处理装置，具备控制装置，该控制装置具有将用于使基板处理装置从通常运转状态自动地转变为适于人工维护的状态的停止动作命令以及用于在人工维护结束之后使该基板处理装置自动地转变为适于通常运转的状态的启动动作命令作为一个宏来保存的功能，并根据上述宏来控制该基板处理装置的动作，该基板处理装置的特征在于，还具备：

输入装置，其用于向上述控制装置输入动作命令；以及

显示装置，其显示与输入到上述控制装置的动作命令相关联的信息，

其中，上述控制装置使上述停止动作命令和上述启动动作命令这双方同时显示在上述显示装置的一个编辑画面上并且分别显示在该一个编辑画面上的不同显示区域中，并且使得能够通过上述输入装置在该一个编辑画面上编辑上述宏。

2.根据权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于，

从与在通常运转状态时使用的输送制程或者从属于该输送制程的制程内包含的制程步骤对应的动作命令中选择上述宏内包含的上述停止动作命令和上述启动动作命令中的至少一部分。

3.根据权利要求1或者2所述的基板处理装置，其特征在于，

能够在上述编辑画面上设定一组停止动作命令的执行顺序和一组启动动作命令的执行顺序。

4.根据权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于，

为了执行上述宏而在上述显示装置中显示一个执行画面，在该一个执行画面上显示构成上述宏的一组上述停止动作命令和一组上述启动动作命令这双方。

5.根据权利要求4所述的基板处理装置，其特征在于，

在上述执行画面上对与当前正在执行的动作命令对应的区域进行突出显示。

6.一种基板处理方法，用于在基板处理装置中实现编辑和显示维护制程的功能，该基板处理装置具备：控制装置，其具有将用于使基板处理装置从通常运转状态自动地转变为适于人工维护的状态的停止动作命令以及用于在人工维护结束之后使该基板处理装置自动地转变为适于通常运转的状态的启动动作命令作为一个宏来保存的功能；输入装置，其用于向上述控制装置输入动作命令；以及显示装置，其显示与输入到上述控制装置的动作命令相关联的信息，该基板处理方法的特征在于，包括：

使上述停止动作命令和上述启动动作命令这双方同时显示在上述显示装置的一个编辑画面上并且分别显示在该一个编辑画面上的不同显示区域中；

通过上述输入装置在该一个编辑画面上编辑上述宏；以及

根据编辑后的上述宏来控制上述基板处理装置的动作。

7.一种编辑装置，编辑在基板处理装置中使用的动作命令，该基板处理装置具有将用于使基板处理装置从通常运转状态自动地转变为适于人工维护的状态的停止动作命令以及用于在人工维护结束之后使该基板处理装置自动地转变为适于通常运转的状态的启动动作命令作为一个宏来保存的功能，该编辑装置具备：

显示部，其使上述停止动作命令和上述启动动作命令这双方同时显示在一个编辑画面上并且分别显示在该一个编辑画面上的不同显示区域中；

编辑部，其能够根据输入装置的输入在上述一个编辑画面上编辑包括停止动作命令和启动动作命令这双方的一个宏；以及

发送部，其对上述基板处理装置发送由上述编辑部编辑后的上述一个宏。

8.一种编辑方法，用于编辑在基板处理装置中使用的动作命令，该基板处理装置具有将用于使基板处理装置从通常运转状态自动地转变为适于人工维护的状态的停止动作命令以及用于在人工维护结束之后使该基板处理装置自动地转变为适于通常运转的状态的启动动作命令作为一个宏来保存的功能，该编辑方法包括：

显示步骤，使上述停止动作命令和上述启动动作命令这双方同时显示在一个编辑画面上并且分别显示在该一个编辑画面上的不同显示区域中；

编辑步骤，能够根据输入装置的输入在上述一个编辑画面上编辑包括停止动作命令和启动动作命令这双方的一个宏；以及

发送步骤，对上述基板处理装置发送通过上述编辑步骤编辑后的上述一个宏。