[发明专利]一种液晶光阀及其制备方法

权利要求书

1.一种液晶光阀，包括相对设置的第一玻璃基片(1)和第二玻璃基片(10)，第一玻璃基片(1)和第二玻璃基片(10)相向的侧面分别设有第一透明导电薄膜层(2)和第二透明导电薄膜层(9)，第一透明导电薄膜层(2)和第二透明导电薄膜层(9)之间还依次设有光敏层、阻光层(4)、介质反射镜(5)、第一取向层(6)、液晶层(7)及第二取向层(8)，其特征在于，所述光敏层为a-Si:(CdTe):H复合材料形成的纳米结构光敏层(3)，所述复合材料包括CdTe和a-Si:H，其中CdTe的含量为7％。

2.如权利要求1所述的一种液晶光阀，其特征在于，所述光敏层的厚度为300nm～800nm。

3.如权利要求1所述的一种液晶光阀，其特征在于，所述阻光层的材质为碲化镉，其厚度为300nm，介质反射镜的透射率小于1％，所述第一取向层(6)及第二取向层(8)均为聚酰亚胺取向层。

4.如权利要求1或2或3所述的一种液晶光阀，其特征在于，所述第一取向层(6)及第二取向层(8)之间均匀设置有直径4μm的间隔子。

5.如权利要求1或2或3所述的一种液晶光阀，其特征在于，所述第一玻璃基片(1)背离第一透明导电薄膜层(2)的一侧设有增透膜层。

6.如权利要求1或2或3所述的一种液晶光阀，其特征在于，所述第一透明导电薄膜层(2)和第二透明导电薄膜层(9)的材质为ITO或AZO。

7.一种液晶光阀的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

A.分别在第一玻璃基片和第二玻璃基片的一侧镀一层透明导电薄膜，形成第一导电玻璃和第二导电玻璃，清洗前述导电玻璃后取出；

B.吹干步骤A取出的第一导电玻璃后放入到真空室，通入氩气和氢气的混合气体，在第一导电玻璃的透明导电薄膜上溅射a-Si:(CdTe):H薄膜作为光敏层，所述a-Si:(CdTe):H薄膜包括a-Si:H和CdTe，其中CdTe的含量为7％；

C.将步骤B溅射光敏层后的第一导电玻璃取出，在光敏层表面蒸镀材质为碲化镉的阻光层，而后在阻光层上制备介质反射镜；

D.分别在步骤C中的第一导电玻璃的介质反射镜及步骤A中的第二导电玻璃的透明导电薄膜上旋涂聚酰亚胺溶液，烘烤后利用丝绒摩擦，使其表面形成微细沟槽，分别形成取向层；

E.在取向层之间均匀放入间隔子后灌入液晶，并利用环氧树脂胶封，形成液晶光阀。

8.如权利要求7所述的一种液晶光阀的制备方法，其特征在于，所述步骤A具体包括：

A1.分别在第一玻璃基片和第二玻璃基片的一侧镀一层透明导电薄膜形成第一导电玻璃和第二导电玻璃；

A2.将第一导电玻璃和第二导电玻璃放入洗涤剂中浸泡15min，再放入乙醇或丙酮溶液中进行超声处理；

A3.将步骤A2清洗得到的第一导电玻璃和第二导电玻璃放入混合溶液洗涤，所述混合溶液的组分为水:双氧水:氨水，其质量百分比为5:1:1；

A4.将步骤A3洗涤后得到的第一导电玻璃和第二导电玻璃放入到去离子水，超声洗涤10min后取出。

9.如权利要求7所述的一种液晶光阀的制备方法，其特征在于，所述步骤B具体包括：

B1.用氮气吹干步骤A取出的第一导电玻璃，放入真空室，打开真空室的抽真空系统，在本地真空度达到8×10^-4Pa时通入氩气和氢气的混合气体，其中氩气流量为80sccm，氢气流量为8sccm；

B2.将CdTe压制成直径5mm、厚度1mm的圆形薄板，将其放在单晶硅靶的溅射环位置，当第一导电玻璃温度达到300℃时开始溅射，溅射功率为250W，溅射时工作室的压强为0.56Pa，溅射时间为30min。

10.如权利要求7所述的一种液晶光阀的制备方法，其特征在于，所述间隔子的直径为4μm。