[发明专利]玻璃镀膜工艺电源配置自动识别系统及方法

权利要求书

1.一种玻璃镀膜工艺电源配置自动识别系统，其特征在于，包括至少一个电源(10)、至少一个靶材(40)、以及至少一个控制箱从站(20)、以及主控处理器(30)，所述主控处理器(30)与所述至少一个控制箱从站(20)相连，每一所述控制箱从站(20)与一靶材(40)对应设置；

所述至少一个电源(10)包括电源输出线，所述电源输出线一端设有多芯工业插(11)；所述电源(10)预设一用于识别所述电源(10)的电源编码，并根据所述电源编码给所述多芯工业插(11)每一针脚配置对应的编码；

所述控制箱从站(20)包括与所述多芯工业插(11)配合的阴极位，所述控制箱从站(20)用于采集所述靶材(40)的阴极井位状态信息并接收插入所述阴极位上的所述多芯工业插(11)的电源编码，并将所述阴极井位状态信息和所述电源编码发送至所述主控处理器(30)，所述阴极井位状态信息与所述电源编码关联；所述阴极井位状态信息包括旋转靶状态、真空条件及冷却水状态；

所述主控处理器(30)用于判断所述阴极井位状态信息是否符合预设加电条件，若是，则向与所述阴极井位状态信息关联的电源编码对应的电源(10)发送加电条件信号，以控制所述电源(10)依据所述加电条件信号对所述靶材(40)加电。

2.根据权利要求1所述的玻璃镀膜工艺电源配置自动识别系统，其特征在于，所述多芯工业插(11)为至少10芯工业插，所述多芯工业插(11)中包括一个电源针脚和至少9个编码针脚。

3.根据权利要求1所述的玻璃镀膜工艺电源配置自动识别系统，其特征在于，所述主控处理器(30)与所述至少一个控制箱从站(20)通过Profibus总线、CAN总线或CC-LINK总线相连。

4.根据权利要求1-3任一项所述的玻璃镀膜工艺电源配置自动识别系统，其特征在于，还包括与所述主控处理器(30)相连的控制终端。

5.一种玻璃镀膜工艺电源配置自动识别方法，所述玻璃镀膜工艺电源配置自动识别方法应用于权利要求1-4任一项所述的玻璃镀膜工艺电源配置自动识别系统，其特征在于，包括如下步骤：

S11:给至少一个电源(10)分别预设一用于识别所述电源(10)的电源编码，所述电源(10)包括电源输出线，所述电源输出线一端设有多芯工业插(11)，并根据所述电源编码给所述多芯工业插(11)的每一针脚配置对应的编码；

S12:将所述电源(10)的多芯工业插(11)插入控制箱从站(20)的阴极位，控制箱从站(20)采集靶材(40)的阴极井位状态信息并接收插入所述阴极位上的所述多芯工业插(11)的电源编码，并将所述阴极井位状态信息和所述电源编码发送至主控处理器(30)，所述阴极井位状态信息与所述电源编码关联；

S13：所述主控处理器(30)判断所述阴极井位状态信息是否符合预设加电条件，若是，则向与所述阴极井位状态信息关联的电源编码对应的电源(10)发送加电条件信号，以控制所述电源(10)依据所述加电条件信号对所述靶材(40)加电。

6.根据权利要求5所述的玻璃镀膜工艺电源配置自动识别方法，其特征在于，所述步骤S12包括：所述靶材(40)的阴极井位状态信息包括旋转靶状态、真空条件及冷却水状态。

7.根据权利要求5所述的玻璃镀膜工艺电源配置自动识别方法，其特征在于，还包括步骤S14：所述主控处理器(30)清除所述电源(10)上对应的靶材(40)的阴极井位状态信息，以实现状态复位，停止或不启动所述电源(10)对所述靶材(40)加电。