[发明专利]基于三相磨粒流的超光滑表面精密流体圆盘抛光装置

权利要求书

1.基于三相磨粒流的超光滑表面流体精密圆盘抛光装置，其特征在于：包括圆盘形抛光工具(1)和工件装夹台(7)，被加工工件(6)装夹在工件装夹台(7)上，圆盘形抛光工具(1)固定安装在工件装夹台(7)的正上方，所述圆盘形抛光工具(1)与被加工工件(6)的上表面形成大面积的微距缝隙；所述圆盘形抛光工具(1)设有内腔，所述圆盘形抛光工具(1)的顶面设有与上述内腔连通的用于注入抛光磨粒的磨粒注入通道(4)；所述圆盘形抛光工具(1)的侧面设有对称分布的抛光液注入孔通道(3)，所述抛光液注入孔通道(3)与上述内腔连通并用于向上述内腔中注入抛光液；所述圆盘形抛光工具(1)的内腔侧面还设有微尺寸气泡发生器(5)。

2.根据权利要求1所述的基于三相磨粒流的超光滑表面流体精密圆盘抛光装置，其特征在于：所述圆盘形抛光工具(1)的侧面还设有均匀分布的至少两个气流注入通道(2)，所述气流注入通道(2)与所述内腔连通并用于向所述内腔注入高速气流。

3.根据权利要求1所述的基于三相磨粒流的超光滑表面流体精密圆盘抛光装置，其特征在于：所述磨粒注入通道(4)设有四个，四个磨粒流注入通道均匀分布在圆盘形抛光工具(1)的顶面。

4.根据权利要求1所述的基于三相磨粒流的超光滑表面流体精密圆盘抛光装置，其特征在于：所述抛光液注入孔通道(3)设有四个，四个抛光液注入孔通道(3)均匀分布在圆盘形抛光工具(1)的侧面上。