[发明专利]有机发光二极管器件及其制作方法和蒸镀设备

权利要求书

1.一种蒸镀设备，其特征在于，所述蒸镀设备包括第一蒸镀材料装填腔、第一蒸镀材料喷嘴、第一速率控制网板、第二蒸镀材料装填腔、第二蒸镀材料喷嘴以及第二速率控制网板；

所述第一速率控制网板设置于连通的所述第一蒸镀材料装填腔与所述第一蒸镀材料喷嘴之间，用于控制单位时间从所述第一蒸镀材料装填腔透过其到达所述第一蒸镀材料喷嘴的第一蒸镀材料的数量而控制所述第一蒸镀材料的第一蒸镀速率，包括相连的至少两种蒸镀速率不同的第一速率控制子网板；所述第一速率控制网板可以相对所述第一蒸镀材料喷嘴移动，以切换与所述第一蒸镀材料喷嘴对准的所述第一速率控制子网板的种类，不同种的第一速率控制子网板间隔交替排布，相同种的第一速率控制子网板之间的距离等于相邻的所述第一蒸镀材料喷嘴之间的距离；

所述第二速率控制网板设置于连通的所述第二蒸镀材料装填腔与所述第二蒸镀材料喷嘴之间，用于控制单位时间从所述第二蒸镀材料装填腔透过其到达所述第二蒸镀材料喷嘴的第二蒸镀材料的数量而控制所述第二蒸镀材料的第二蒸镀速率，包括相连的至少两种蒸镀速率不同的第二速率控制子网板；所述第二速率控制网板可以相对所述第二蒸镀材料喷嘴移动，以切换与所述第二蒸镀材料喷嘴对准的所述第二速率控制子网板的种类，不同种的第二速率控制子网板间隔交替排布，相同种的第二速率控制子网板之间的距离等于相邻的所述第二蒸镀材料喷嘴之间的距离；

所述第二蒸镀材料装填腔与所述第一蒸镀材料装填腔不连通，所述第二蒸镀材料喷嘴与所述第一蒸镀材料喷嘴不连通。

2.根据权利要求1所述的蒸镀设备，其特征在于，所述不同种的第一速率控制子网板的开口密度不同；所述不同种的第二速率控制子网板的开口密度不同。

3.根据权利要求2所述的蒸镀设备，其特征在于，所述不同种的第一速率控制子网板根据开口密度大小依次间隔排布；所述不同种的第二速率控制子网板根据开口密度大小依次间隔排布。

4.根据权利要求1所述的蒸镀设备，其特征在于，所述第一速率控制子网板之间设置有间隔带；所述第二速率控制子网板之间设置有间隔带。

5.根据权利要求1-4其中任一项所述的蒸镀设备，其特征在于，所述蒸镀设备还包括第一网板转送控制轮，用于转动来移动所述第一速率控制网板；所述蒸镀设备还包括第二网板转送控制轮，用于转动来移动所述第二速率控制网板。

6.一种有机发光二极管器件制作方法，其特征在于，所述器件包括至少两层电子传输层，利用权利要求1-5所述的蒸镀设备蒸镀形成所述器件中的所述至少两层电子传输层，该方法包括：

根据所述器件中需要形成的各电子传输层的主体材料与客体材料的质量比，在第一蒸镀材料腔中设置主体材料或客体材料作为第一蒸镀材料，移动第一速率控制网板，使对应的第一速率控制子网板依次对准第一蒸镀材料喷嘴，蒸镀所述第一蒸镀材料以形成第一电子传输层；在第二蒸镀材料腔中设置主体材料或客体材料作为第二蒸镀材料，移动第二速率控制网板，使对应的第二速率控制子网板依次对准第二蒸镀材料喷嘴，蒸镀所述第二蒸镀材料以形成第二电子传输层。