[发明专利]用于激光扫描显示的电磁驱动二维扫描微镜

权利要求书

1.一种用于激光扫描显示的电磁驱动二维扫描微镜，其特征在于：包括外围框架，设置在外围框架内的内框架、连接外围框架和内框架的竖直扫描扭转梁、设置在所述内框架内的微反射镜及一对磁体，所述外围框架具有悬臂，所述内框架通过竖直扫描扭转梁连接至外围框架的悬臂上，所述悬臂上设置有悬臂驱动线圈，所述内框架上设置有内框架驱动线圈，所述一对磁体分别相对设置在悬臂的两侧，所述磁体所产生的磁感线垂直于悬臂驱动线圈、内框架驱动线圈通电后的电流方向，所述微反射镜与内框架为分体设置，所述用于激光扫描显示的电磁驱动二维扫描微镜还包括将所述微反射镜固定在内框架上的水平扫描扭转梁，所述悬臂通过振动波驱动内侧微反射镜做谐振扭转。

2.根据权利要求1所述的用于激光扫描显示的电磁驱动二维扫描微镜，其特征在于：所述水平扫描扭转梁为相对设置在微反射镜两侧的两根，所述微反射镜为以水平扫描扭转梁为轴线的轴对称形状.

3.根据权利要求2所述的用于激光扫描显示的电磁驱动二维扫描微镜，其特征在于：所述水平扫描扭转梁与竖直扫描扭转梁垂直设置。

4.根据权利要求1至3任一所述的用于激光扫描显示的电磁驱动二维扫描微镜，其特征在于：所述竖直扫描扭转梁与所述内框架、外围框架之间的连接处采用圆角结构过渡；所述水平扫描扭转梁与所述内框架、微反射镜之间的连接处采用圆角结构过渡。

5.根据权利要求1所述的用于激光扫描显示的电磁驱动二维扫描微镜，其特征在于：所述悬臂驱动线圈、内框架驱动线圈均为通过电镀工艺镀金制成的双层线圈结构。

6.根据权利要求1所述的用于激光扫描显示的电磁驱动二维扫描微镜，其特征在于：所述悬臂为相对设置在内框架两侧的两个。

7.根据权利要求1所述的用于激光扫描显示的电磁驱动二维扫描微镜，其特征在于：所述悬臂为四个，所述四个悬臂分成相对设置在内框架的两侧的两组，其中每个悬臂具有自由端，所述自由端与竖直扫描扭转梁连接。

8.根据权利要求1所述的用于激光扫描显示的电磁驱动二维扫描微镜，其特征在于：所述内框架驱动线圈呈H型或长方形。

9.根据权利要求1所述的用于激光扫描显示的电磁驱动二维扫描微镜，其特征在于：所述磁体为采用钕铁硼永磁材料所制成的永磁磁铁。