[发明专利]一种激光器在线监测系统

权利要求书

1.一种激光器在线监测系统，其特征在于：包括沿光路设置的主扩束系统(1)和第一半透半反射镜(2)，所述第一半透半反射镜(2)的透射光路上设置有第一探测器(3)，所述第一半透半反射镜(2)的反射光路上设置有第二半透半反射镜(5)，

所述第二半透半反射镜(5)的一个透射光路上依次设置有聚焦镜(14)、第二反射镜(15)、第二探测器(16)，所述第二半透半反射镜(5)的另一个透射光路上设置有角反射镜(4)，所述第二半透半反射镜(5)的反射光路上设置有第三半透半反射镜(6)；

所述第三半透半反射镜(6)的透射光路上依次设置有第一扩束器(7)、第一隔离器(8)和检测激光器(9)，所述第三半透半反射镜(6)的反射光路上依次设置有第一反射镜(13)、第二扩束器(12)、第二隔离器(11)和调试激光器(10)，所述主扩束系统(1)的入射窗口与被测激光器的光腔(17)相对。

2.根据权利要求1所述的激光器在线监测系统，其特征在于：所述主扩束系统(1)的放大倍数由被测激光器的光腔(17)的口径和第一探测器(3)的尺寸确定。

3.根据权利要求1或2所述的激光器在线监测系统，其特征在于：所述检测激光器(9)为635nm激光器，所述调试激光器(10)为1064nm激光器。

4.根据权利要求3所述的激光器在线监测系统，其特征在于：所述主扩束系统(1)的放大倍数为10倍。