[发明专利]一种集成传感器及其制备方法有效
| 申请号： | 201510059298.8 | 申请日： | 2015-02-04 |
| 公开（公告）号： | CN105984834B | 公开（公告）日： | 2018-07-06 |
| 发明（设计）人： | 徐伟;刘国安;吴萍 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00;B81B7/00;G01L1/14;G01P15/18;G01P15/08 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人： | 俞涤炯 |
| 地址： | 201203 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 加速度传感器 压力传感器 衬底 集成传感器 垂直 制备 电容式压力传感器 三轴加速度传感器 传感器芯片 电子设备 航天领域 加速度计 集成化 传感器 减小 整合 生产成本 芯片 主流 应用 | ||
【说明书】：
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