[发明专利]用于处理激光的设备有效

专利信息
申请号: 201510059644.2 申请日: 2015-02-04
公开(公告)号: CN104816085B 公开(公告)日: 2018-05-29
发明(设计)人: 罗玉钧;李成龙;吴荣锡;崔尙奎;蒋盛旭 申请(专利权)人: AP系统股份有限公司
主分类号: B23K26/0622 分类号: B23K26/0622;B23K26/70;B23K26/08
代理公司: 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 代理人: 杨贝贝;臧建明
地址: 韩国京畿道华城市*** 国省代码: 韩国;KR
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摘要:
搜索关键词: 激光辐照器 备用脉冲 脉冲 激光 辐照激光 振荡激光 激光处理设备 激光振荡模式 控制切换部件 脉冲产生部件 备用状态 操作状态 产生部件 激光辐照 模块驱动 相对移动 选择操作 质量恶化 检测 移动 衬底 驱动 转换
【权利要求书】:

1.一种用于处理激光的设备,包括:

操作脉冲产生部件,其经设置以产生用于在辐照所述激光的操作状态中振荡所述激光的操作脉冲;

备用脉冲产生部件,其经设置以产生用于在尚未辐照所述激光的备用状态中振荡所述激光的备用脉冲;

其特征在于,所述用于处理激光的设备进一步包括:

切换部件,其经设置以选择所述操作脉冲和所述备用脉冲中的一者以将选定的所述脉冲提供到激光辐照器;以及

相对移动模块驱动部件,其经设置以控制所述切换部件使得当未检测到平台或所述激光辐照器的移动时,将所述备用脉冲提供到所述激光辐照器,且当检测到所述平台或所述激光辐照器的所述移动时,将所述操作脉冲提供到所述激光辐照器。

2.根据权利要求1所述的用于处理激光的设备,其特征在于进一步包括相对移动检测部件,所述相对移动检测部件经设置以在检测到所述平台或所述激光辐照器的所述移动的区段的范围中输出检测信号,以将输出的所述检测信号提供到所述操作脉冲产生部件,

其中所述操作脉冲产生部件接收所述检测信号以产生具有方波波形的操作脉冲。

3.根据权利要求2所述的用于处理激光的设备,其特征在于,所述相对移动检测部件在检测到所述平台或所述激光辐照器的所述移动的区段的范围中输出所述检测信号,以将输出的所述检测信号提供到所述相对移动模块驱动部件,且

所述相对移动模块驱动部件根据所述检测信号的输入计算所述平台或所述激光辐照器的移动速度和位置中的至少一者。

4.根据权利要求2或3所述的用于处理激光的设备,其特征在于,所述相对移动检测部件包括平台移动检测部件,所述平台移动检测部件经设置以在检测到所述平台或所述激光辐照器的所述移动的区段的范围中输出所述检测信号,以将输出的所述检测信号提供到所述操作脉冲产生部件,

其中所述平台移动检测部件包括:

平台刻度,其中刻度标记于面向所述平台的一侧的位置上;以及

编码器,其安置在所述平台的所述侧上以每当检测到所述平台刻度的所述刻度时都输出所述检测信号。

5.根据权利要求4所述的用于处理激光的设备,其特征在于,所述检测信号包括交流波。

6.根据权利要求1所述的用于处理激光的设备,其特征在于,所述激光辐照器仅在确定所述激光振荡的周期的脉冲是从外面输入的外部模式中被驱动。

7.根据权利要求1所述的用于处理激光的设备,其特征在于,所述操作脉冲和所述备用脉冲中的每一者具有方波波形。

8.根据权利要求7所述的用于处理激光的设备,其特征在于所述操作脉冲的峰值电压比所述备用脉冲的峰值电压低。

9.根据权利要求7所述的用于处理激光的设备,其特征在于,所述操作脉冲的周期比所述备用脉冲的周期短。

10.根据权利要求7所述的用于处理激光的设备,其特征在于,所述操作脉冲的上升时间比所述备用脉冲的上升时间短。

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