[发明专利]真空泵的控制装置和具备它的真空泵

说明书

提供一种适合防止由温度变化带来的模制部的损坏的真空泵的控制装置。控制真空泵（1）的控制装置（4）具备具有开口部（5）的壳体（6）、设置在壳体（6）内的电路基板（8）和将电路基板（8）覆盖的模制部（9），模制部（9）的表面比第1壳体（6）的开口部（5）凹陷。

技术领域

本发明涉及作为半导体制造装置、平板显示器制造装置、太阳能面板制造装置的工艺腔室、其他腔室的气体排气机构等使用的真空泵的控制装置和具备它的真空泵。

背景技术

以往，这种真空泵作为其控制装置而具备例如专利文献1所记载的电源装置（50）。该电源装置（50）具备具有开口部（凹部51b的上表面开口部）的第1壳体（基体部件51）、安装在该第1壳体上并将上述开口部覆盖的第2壳体（覆盖部件52）、设置在上述第1壳体内并控制真空泵的基板（电路基板71）和将该基板覆盖的模制部（保护材料55），通过上述模制部保护上述基板和该基板上的电子零件（72、73），防止起因于结露的电路短路的发生等。

但是，根据上述专利文献1所记载的电源装置（50），如该文献1的图2或图5等所图示那样，模制部（保护材料55）比第1壳体（基体部件51）的开口部（凹部51b的上表面开口部）伸出。因此，当将由第1壳体（基体部件51）、基板（电路基板71）、模制部（保护材料55）构成的装置主体保管或输送时，通过保管时或输送时的温度变化而模制部膨胀，有可能与其他部件接触而在模制部中发生龟裂等的损坏。如果在模制部发生龟裂等的损坏，则通过因结露带来的水滴从损坏部位向模制部的内部渗透，有可能发生基板上的电子零件损伤或电路短路等，损害控制装置的正常的动作。此外，在将装置主体与第2壳体（覆盖部件52）分离、将装置主体堆起多个保管或输送时，必须使夹插到堆起的装置主体间的间隔件的高度至少变高模制部的伸出量，在体积变大这一点上不适合于保管及输送。

在上述专利文献1所记载的电源装置（50）中，由于模制部、第1壳体、基板分别由热膨胀率不同的材料构成，所以有可能通过因温度变化带来的模制部、第1壳体、基板的膨胀收缩而在模制部发生龟裂等的损坏。如果在模制部发生龟裂等的损坏，则还有可能通过因结露带来的水滴从损坏部位向模制部的内部渗透，基板上的电子零件损伤或发生电路短路等，控制装置的正常的动作受损。

此外，如果参照专利文献1的图5，则在该文献1所记载的电源装置（50）中，如果在模制部（保护材料55）的表面存在凹凸，则因结露带来的水滴集中在凹凸的凸部，还有可能水滴落在没有被模制部覆盖的基板（电路基板81）上、基板上的电子零件损伤或发生电路短路等，控制装置的正常的动作受损。

另外，上述括号内的部件名称和附图标记是在专利文献1中使用的部件名称和附图标记。

专利文献1：特开2013－29063号公报。

发明内容

本发明是为了解决上述问题而做出的，其目的是提供一种适合防止因温度变化带来的模制部的损坏的真空泵的控制装置。

为了达到上述目的，本发明是一种真空泵的控制装置，控制真空泵，其特征在于，具备：壳体，具有开口部；电路基板，设置在上述壳体内；和模制部，将上述电路基板覆盖；上述模制部的表面比上述壳体的上述开口部凹陷。

在上述本发明中，也可以是，其特征在于，上述模制部的表面为平面状。

在上述本发明中，也可以是，其特征在于，上述模制部的表面的与上述壳体的接触部的高度比上述模制部的表面的其他部分高。

在上述本发明中，也可以是，其特征在于，对上述基板的角部实施了R倒角或C倒角。

在上述本发明中，也可以是，其特征在于，对上述模制部的角部实施了R倒角或C倒角。

在上述本发明中，也可以是，其特征在于，使上述壳体内的角部为R形状或C倒角形状。