[发明专利]微机电麦克风装置

说明书

一种微机电麦克风装置，包括基板、微机电麦克风薄膜与氧化层。基板具有第一凹陷部。微机电麦克风薄膜位于基板上方且覆盖第一凹陷部并定义出第一空腔，微机电麦克风薄膜包括弹性部与结合部。弹性部位于微机电麦克风薄膜的中央位置，且被多个第一沟槽包围，所述多个第一沟槽彼此分离地沿弹性部的边缘排列并贯穿弹性部的相对两面。结合部位于微机电麦克风薄膜的边缘位置，连接弹性部。氧化层具有第二凹陷部，连接微机电麦克风薄膜的结合部，第二凹陷部暴露出至少部分的微机电麦克风薄膜。

技术领域

本发明涉及一种微机电麦克风，特别是一种确保坚固性及具有对声音变化的高灵敏性的微机电麦克风装置。

背景技术

随着微机电(Micro Electro Mechanical System,MEMS)工艺技术的突破与感测电路的微小化，使得微机电麦克风符合现今消费性电子产品轻薄短小的设计需求，而逐渐取代传统驻极体麦克风成为消费性电子产品中必备的构件。

一般来说，为了使得微机电麦克风薄膜可达到对声音具有高灵敏的特性，目前微机电麦克风大多采改变支撑梁(Spring)或微机电麦克风薄膜的结构。以改变支撑梁的结构来说，例如可以是直接控制支撑梁的弹性系数，进而控制微机电麦克风的位移量，以达到对声音具有高灵敏的特性。而改变微机电麦克风薄膜的结构来说，则是直接在微机电麦克风薄膜上制作若干微结构，使微机电麦克风薄膜对声音具有高灵敏的特性。

虽然，上述的方式都可使微机电麦克风达到对声音具有高灵敏的特性，但设计上仍较为复杂，因此，微机电麦克风的设计上仍有改善的空间。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是提供一种微机电麦克风装置，以控制微机电麦克风薄膜的弹性系数，并确保微机电麦克风薄膜的坚固性，以及具有对声音变化的高灵敏性。

为了实现上述目的，本发明提供了一种微机电麦克风装置，包括基板、微机电麦克风薄膜与氧化层。基板具有第一凹陷部。微机电麦克风薄膜位于基板上方且覆盖第一凹陷部并定义出第一空腔，微机电麦克风薄膜包括弹性部与结合部。弹性部位于微机电麦克风薄膜的中央位置，且被多个第一沟槽包围，所述多个第一沟槽彼此分离地沿弹性部的边缘排列并贯穿弹性部的相对两面。结合部位于微机电麦克风薄膜的边缘位置，连接弹性部。氧化层具有第二凹陷部，连接微机电麦克风薄膜的结合部，第二凹陷部暴露出微机电麦克风薄膜。

在一实施例中，基板上具有至少一第三凹陷部，第三凹陷部环绕第一凹陷部。此外，微机电麦克风装置还包含背板层配置于该氧化层上，背板层具有多个缝隙，透过缝隙与第二凹陷部暴露出部分的微机电麦克风薄膜。另外，微机电麦克风装置还包含至少一阻挡块，配置于微机电麦克风薄膜与背板层之间，而阻挡块与氧化层连接，且位于第二凹陷部内。以及，微机电麦克风装置还包含钝化层，钝化层配置于氧化层上，且钝化层暴露出部分的背板层。

本发明的技术效果在于：

本发明的微机电麦克风装置，通过在微机电麦克风薄膜的弹性部上设置多个第一沟槽，且这些第一沟槽沿弹性部的周围依序排列。另外，还可进一步于弹性部上设置多个第二沟槽，第一沟槽将第二沟槽围绕于内，各第二沟槽分别相邻于各第一沟槽。如此一来，有效控制微机电麦克风薄膜的弹性系数，并确保微机电麦克风薄膜的坚固性，也可获得对声音变化的高灵敏性。

以下结合附图和具体实施例对本发明进行详细描述，但不作为对本发明的限定。

附图说明

图1为本发明的微机电麦克风装置的剖面示意图；

图2A为本发明的微机电麦克风薄膜的立体示意图；

图2B为本发明的微机电麦克风薄膜的另一立体示意图；

图2C为本发明的微机电麦克风薄膜的又一立体示意图；

图2D为本发明的微机电麦克风薄膜的再一立体示意图；