[发明专利]一种多晶硅还原炉用石墨组件

权利要求书

1.一种多晶硅还原炉用石墨组件，包括石墨底座（1）和用于固定硅芯的石墨卡瓣（2），其特征是：所述石墨底座（1）和石墨卡瓣（2）为承插式结构，所述石墨卡瓣（2）插入所述石墨底座（1）内。

2.如权利要求1所述的多晶硅还原炉用石墨组件，其特征是：所述石墨底座（1）内设有卡瓣安装腔（3），卡瓣安装腔（3）为上大下小的锥形腔，石墨卡瓣（2）下部为与所述卡瓣安装腔（3）形状相适应的锥形体，所述石墨卡瓣（2）通过下部锥形体卡紧在所述卡瓣安装腔（3）中；所述石墨卡瓣（2）中心设有硅芯安装腔（4）。

3.如权利要求2所述的多晶硅还原炉用石墨组件，其特征是：所述芯棒安装腔（4）为方形、圆柱形、圆锥形或棱形。

4.如权利要求1-3任一项所述的多晶硅还原炉用石墨组件，其特征是：所述石墨卡瓣（2）由两瓣或两瓣以上多个组成瓣构成。

5.如权利要求2或3所述的多晶硅还原炉用石墨组件，其特征是：所述硅芯安装腔（4）周围均匀设有多个膨胀槽（5）。

6.如权利要求2或3所述的多晶硅还原炉用石墨组件，其特征是：所述卡瓣安装腔（3）为包括圆形锥、多边形锥的几何形状锥形腔。