[发明专利]硅片工装花篮输送系统

说明书

技术领域

本发明涉及一种硅片插片装置，特别是涉及一种硅片工装花篮输送系统。

背景技术

   随着自动化的推进，对硅片进行插片时，对要盛装硅片的空工装花篮多是采用输送带对其进行输送，相邻的工装花篮会发生碰撞甚至重叠卡死，严重时需要停机进行处理，就极大制约了插片的速度。

发明内容

本发明的目的是提供一种硅片工装花篮输送系统，其在工装花篮的输送路径上设置一个跷杆，使得当前工装花篮处于预被取走的目标区域时，跷杆的第二杆能够跷起并抵在后一工装花篮上，防止二者相撞或卡死，保证稳定输送工装花篮，促进插片速度的提高。

为解决上述技术问题，本发明采用如下技术方案：

一种硅片工装花篮输送系统，包括供工装花篮移动的轨道、沿长度方向设置在所述的轨道内的两条同步移动的输送带，两条所述的输送带相平行，所述的工装花篮的下表面设置有两条支撑筋，两条所述的支撑筋分别落在对应的所述的输送带上，两条所述的输送带之间设置有一支撑板，所述的支撑板上通过横向轴铰接设置有一个跷杆，所述的横向轴的长度方向垂直于所述的工装花篮的移动方向，所述的跷杆包括固定连接的第一杆和第二杆，所述的第一杆与所述的第二杆之间的夹角为钝角，所述的跷杆通过所述的第一杆与所述的第二杆的连接处自由转动地安装在所述的横向轴上，所述的第一杆指向前方，所述的第二杆指向后方，所述的第一杆所受重力相对于所述的横向轴的力矩的绝对值小于所述的第二杆所受重力相对于所述的横向轴的力矩的绝对值，所述的跷杆至少具有第一位置和第二位置，当所述的跷杆处于第一位置时，所述的第二杆跷起；当所述的跷杆处于第二位置时，所述的第二杆沉下；所述的轨道上具有目标区域和等待区域，当前工装花篮位于目标区域、后一工装花篮处于等待区域时，所述的跷杆处于第一位置，所述的第一杆抵在当前工装花篮的下表面，所述的第二杆跷起且后端部抵在后一工装花篮的侧壁上；当前工装花篮脱离目标区域时，所述的跷杆与后一工装花篮相脱离且所述的跷杆处于第二位置。

优选地，所述的支撑板上开设有一个凹槽，所述的跷杆设置在所述的凹槽中，当所述的跷杆处于第二位置时，所述的第二杆沉下至所述的凹槽中。

优选地，所述的凹槽内设置有两块带轴孔的侧立板，所述的跷杆通过所述的横向轴自由转动地铰接在两块所述的侧立板之间。

优选地，当所述的跷杆处于第一位置时，所述的第二杆的后端部的端面为竖直面，所述的第二杆的后端部以该竖直面抵紧在后一工装花篮的侧壁上。

本发明的有益效果在于：通过两条输送带以工装花篮下表面的两条支撑筋进行输送，在输送路径上目标区域与等待区域之间设置一个跷杆，有工装花篮位于目标区域时，跷杆的第一杆抵在当前工装花篮的下表面而使得第二杆跷起，从而限制后一工装花篮继续前进，即将当前工装花篮与后一工装花篮隔离开，避免碰撞或卡死，而在当前工装花篮被取走后，输送带反向移动一段距离，使第二杆与后一工装花篮相脱离，此时，第二杆所受重力的力矩使其下沉，继续正向移动输送带，后一工装花篮移至目标区域，依次循环，逐一输送工装花篮，结构简单、成本低，且能够解决相邻工装花篮相撞或卡死的现象，有效提高硅片插片的速度。

附图说明

附图1为本实施例的硅片工装花篮输送系统的结构示意图一；

附图2为本实施例的硅片工装花篮输送系统的结构示意图二；

附图3为附图1中A处放大示意图。

附图中：11、轨道；12、输送带；13、支撑板；14、跷杆；15、第一杆；16、第二杆；17、横向轴；18、凹槽；19、侧立板；工装花篮。

具体实施方式

下面结合附图所示的实施例对本发明作以下详细描述：

本说明书中的前、后方向为工装花篮沿输送带移动的前进、后退方向，即附图1和附图2中的向右为前方、向左为后方。