[发明专利]一种新型松香基咪唑啉类缓蚀剂有效

专利信息
申请号: 201510064954.3 申请日: 2015-02-08
公开(公告)号: CN105272916B 公开(公告)日: 2019-01-11
发明(设计)人: 胡海翔;杨欢;李小春 申请(专利权)人: 中国科学院武汉岩土力学研究所
主分类号: C07D233/06 分类号: C07D233/06;C23F11/167;C23F11/14;C09K8/54
代理公司: 武汉宇晨专利事务所 42001 代理人: 余晓雪;王敏锋
地址: 430071 湖北*** 国省代码: 湖北;42
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摘要:
搜索关键词: 一种 新型 松香 咪唑 啉类缓蚀剂
【权利要求书】:

1.一种式(4)所示的松香基咪唑啉类化合物的合成方法,包括如下步骤:

步骤a:将松香酸和K2CO3溶于二甲基甲酰胺中,加入碘甲烷,反应完全后减压旋蒸去掉碘甲烷,用乙酸乙酯萃取,浓缩,水洗除去二甲基甲酰胺,有机层用饱和氯化钠洗涤、干燥、浓缩,剩余组分用1:10的乙酸乙酯/石油醚过硅胶柱子纯化后得到式(2)化合物,反应式如下:

步骤b:在0-10℃条件下,往甲苯中加入乙二胺和三甲基铝,混合均匀,再加入步骤a得到的式(2)化合物,充分搅拌回流反应,冷却到0℃,过滤,滤液用乙酸乙酯萃取,有机层用硫酸钠干燥、浓缩,产品用硅胶柱层析纯化,得到式(3)化合物,反应式如下:

步骤c:在二甲基甲酰胺中加入化合物(3)和碳酸钾后再加入碘甲烷,常温下充分搅拌8小时,然后过滤,滤液进行浓缩得到粗产物,再将粗产物HPLC纯化得到目标产物(4),反应式如下:

2.一种含有权利要求1所述合成方法合成的松香基咪唑啉类化合物的缓蚀剂。

3.根据权利要求2所述的缓蚀剂,其特征在于,所述缓蚀剂的配方如下:

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