[发明专利]一种高电离率氧化物阴极等离子体源及其制备方法在审
| 申请号： | 201510066212.4 | 申请日： | 2015-02-04 |
| 公开（公告）号： | CN104733267A | 公开（公告）日： | 2015-06-24 |
| 发明（设计）人： | 谢锦林;胡广海;金晓丽;袁林;张乔枫;杨尚川 | 申请（专利权）人： | 中国科学技术大学 |
| 主分类号： | H01J1/142 | 分类号： | H01J1/142;H01J9/04 |
| 代理公司： | 无 | 代理人： | 无 |
| 地址： | 230026 安*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 电离 氧化物 阴极 等离子体 及其 制备 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种高电离率氧化物阴极等离子体源，它包括下列重量份数的物质：碳酸钡BaCO31份，碳酸锶SrCO30.6-0.8份，碳酸钙CaCO30.05-0.2份，三氧化二钪Sc2O30.05-0.2份。
2.根据权利要求1所述的一种高电离率氧化物阴极等离子体源，其特征在于：所述碳酸钡BaCO3、碳酸锶SrCO3、碳酸钙CaCO3、三氧化二钪Sc2O3的化学纯度皆为99.99％。
3.一种制备权利要求1-2任一项所述的一种高电离率氧化物阴极等离子体源的制备方法，其特征在于：它包括如下步骤：
a、按上述碳酸钡BaCO3、碳酸锶SrCO3、碳酸钙CaCO3、三氧化二钪Sc2O3的比例配置粉末；
b、按1g粉末1～2ml的比例将乙酸异戊脂加入步骤a得到的粉末，放入研磨机研磨至颗粒尺度小于3um，再按1g粉末1～2ml的比例加入胶棉液，经过充分混合后，得到备用的悬浊液；
c、用Al2O3砂纸清洁基金属板，并将洁净的基金属板固定在电动转盘上；
d将步骤b得到的悬浊液均匀喷涂到步骤c得到的基金属板上；
e、待涂层自然挥发或烘烤干；
f、重复步骤d、e，直至涂层厚度达40um-200um。
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