[发明专利]热处理装置

权利要求书

1.一种热处理装置，其特征在于，

所述热处理装置包括：加工处理管，一端封闭并且另一端形成有开口，被热处理的工件通过所述开口收容在所述加工处理管中；门，对该加工处理管的开口进行开闭；以及开闭机构，使所述门动作，以使得所述开口开闭，

所述门包括：内表面构件，配置在所述加工处理管侧；绝热材料，配置在该内表面构件的外侧；以及门框，配置在该绝热材料的外侧并保持所述内表面构件和所述绝热材料，

所述开闭机构包括：驱动臂，在向所述加工处理管靠近的一个方向和从所述加工处理管远离的另一个方向上被驱动；驱动装置，驱动所述驱动臂；以及门倾斜调整构件，以能倾斜的方式将所述门支承在所述驱动臂的前端部，

所述门伴随所述驱动臂的驱动而移动，能够使所述加工处理管的开口开闭，

所述门倾斜调整构件，具备：轴承，安装在所述驱动臂的前端部；以及摆动轴，在一端部安装有所述门框，且另一端部保持在所述轴承的内圈，按照所述内圈相对于所述驱动臂的相对摆动与所述门框一起倾斜，

所述开闭机构还具有门转动限制构件，所述门转动限制构件限制所述门围绕中心的转动，所述门转动限制构件被设置成对于所述驱动臂的长度方向仅在相对于所述摆动轴的一侧的位置限制所述摆动轴的摆动，

在所述开闭机构使所述门移动而关闭所述加工处理管的开口时，通过所述内表面构件按压在所述加工处理管的开口的周缘，所述门倾斜调整构件以所述内表面构件沿着所述加工处理管的开口的周缘的方式调整所述门的倾斜，由此使所述内表面构件与所述加工处理管的开口的周缘密封。

2.根据权利要求1所述的热处理装置，其特征在于，所述加工处理管是石英管。

3.根据权利要求1所述的热处理装置，其特征在于，

在所述加工处理管内导入扩散用气体，所述扩散用气体包含用于对工件进行热处理的三氯氧磷或三溴化硼。

4.根据权利要求1所述的热处理装置，其特征在于，所述轴承是杆端轴承。

5.根据权利要求1-4中任一项所述的热处理装置，其特征在于，

所述门倾斜调整构件还包括：角度调节头，设置在所述摆动轴的另一端部；以及

角度调节块，设置在所述驱动臂的前端部，并形成有所述角度调节头贯通的开口，并且所述开口的尺寸为容许所述角度调节头的倾斜的大小。

6.根据权利要求1-4中任一项所述的热处理装置，其特征在于，所述门转动限制构件还包括：转动限制头，设置在所述门框和所述驱动臂中的一方上；以及转动限制板，设置在所述门框和所述驱动臂中的另一方上，并形成有开口，所述转动限制头贯通该开口，并且该开口的尺寸能将所述转动限制头的转动限制在规定范围的大小。

7.根据权利要求1～4中任意一项所述的热处理装置，其特征在于，

所述驱动装置是气缸机构，所述气缸机构具备往返运动的活塞杆以及收纳该活塞杆的气缸筒，通过接受提供的流体压力并使所述活塞杆相对于所述气缸筒前进或后退来传递驱动力，

所述驱动臂的基端部与所述活塞杆连接。

8.根据权利要求7所述的热处理装置，其特征在于，

所述驱动臂与封闭所述加工处理管的开口的面平行地延伸，

所述驱动臂的基端部和第一连杆的一端部以能转动的方式支承在固定支架的一端部，使得所述驱动臂和所述第一连杆一起转动，

所述气缸筒以能转动的方式支承在所述固定支架的另一端部，并且所述第一连杆的另一端部与所述活塞杆的前端部以能够转动的方式连接，

所述固定支架以该固定支架的一端部比另一端部更靠近所述加工处理管的方式设置。