[发明专利]半导体晶片示教夹具

权利要求书

1.一种半导体晶片示教夹具，包括：

夹持器轴(3)，在支撑板(1)上在两侧竖立设置，且形成有用于插入安装半导体晶片的多个夹持器槽(2)；

限位器轴(4)，竖立设置于上述夹持器轴(3)后方两侧部并根据位置固定半导体晶片；

刻度条(5)，竖立设置于上述两侧的限位器轴(4)后方中央，并标有用于确认半导体晶片的位置的刻度；

框架上板(7)，固定设置于上述夹持器轴(3)、限位器轴(4)及刻度条(5)的上端部并形成有透视窗(6)；

其中，上述夹持器轴(3)的夹持器槽(2)通过搁板台阶(2a)形成，上述搁板台阶(2a)在入口形成倾斜部(2b)，而在上述搁板台阶(2a)上在两侧突出形成用于安装半导体晶片的支撑台阶(2c)，而且，在上述限位器轴(4)上形成限位器槽(4a)，而在上述限位器槽(4a)中，以与上述支撑台阶(2c)相同的水平线形成用于安装半导体晶片的支撑台阶(4b)，

在所述夹持器轴(3)的前后侧各安装有第一及第二位置测量装置(P)、(P1)；

上述第一及第二位置测量装置(P)、(P1)在两侧固定设置导轨(8)，而在上述导轨(8)上，以被导轨块(11)导引地插入设置具备限位器(9)的测量固定块(10)；

在上述测量固定块(10)上，通过铰链轴(14)可旋转地设置标有位置刻度(12)的测量板(13)，在上述限位器(9)和测量板(13)固定设置极性各不相同的磁铁(15)、(15a)，而且，在上述测量固定块(10)末端固定设置刻度支撑末端(16)；

在上述两侧的刻度支撑末端(16)前方具备刻度盘。

2.根据权利要求1所述的半导体晶片示教夹具，其特征在于：在上述支撑板(1)的前后，各设置有用于测量左右水平状态的水平测量仪(18)，及用于测量前后水平状态的水平测量仪(19)。

3.根据权利要求1所述的半导体晶片示教夹具，其特征在于：在所述支撑板(1)上的一定位置形成示教时用于固定于桩钉的孔块(20)，而在上述支撑板(1)的两侧设置有用于在搬运或示教时进行移动的手柄(21)。