[发明专利]一种对非球面的光学元件进行干涉测试的方法及系统

权利要求书

1.一种对非球面的光学元件进行干涉测试的方法，该方法包括：

反射第一光束和第二光束，由具有入射波阵面的入射光的衍射元件形成，沿着光轴由被测系统照射到衍射元件上，形成第一反射光束和第二反射光束，其中，与第一反射光束相对应的第一波阵面的特性与入射光波阵面的特性相似；与第二反射光束相对应的第二波阵面的特性包括入射波阵面的特性，通过被测系统的入射光束相交进行调整；

根据光学数据，通过使用一个控制单元包括数据处理回路测定被测系统的非球面数据，所述光学数据由同轴传输的第一反射光束和第二反射光束形成的辐照度分布得到；

还包括调整被测系统的空间分布，从而减弱第一反射光束和第二反射光束。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：所述反射包括反射第一光束和第二光束，与入射光束衍射元件形成的不同衍射级项相对应。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：所述反射包括反射来自被测系统的猫眼结构的第一光束，以及反射来自被测系统的共聚焦装置的第二光束。

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：所述反射包括将第一光束反射到与被测系统相交的第一点上，还包括将第二光束反射到衍射元件与第一点之间的第二点上。

5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：所述反射包括将第一光束反射到与被测系统相交的第一点上，还包括将第二光束反射到第二点上，第一点位于衍射元件与第二点之间。

6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：所述反射包括将具有球形波阵面的第一光束反射，还包括将具有与被测系统数据相对应的波长的第二光束反射。

7.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：所述反射包括在第一光束和第二光束与被测系统相交后，将第一光束和第二光束传输通过衍射元件。

8.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：所述反射包括将入射光穿过衍射元件，并形成所述第一光束和第二光束。

9.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：所述反射包括将入射光束反射到衍射元件，并形成所述的第一光束和第二光束。

10.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：所述测定包括在第一反射光束和第二反射光束和可调节的光学衍射元件间引入一个相移。

11.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：还包括调整衍射元件和控制单元，使第一光束和第二光束对应的衍射性能间的差异最小化，最终优化辐照度分布的可见度。

12.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：所述测定包括基于光学探测器得来的光学数据的测定。

13.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：所述调整包括调整被测系统的空间分布，使第一反射光束的辐照强度与第二反射光束的辐照强度相匹配。

14.根据权利要求12所述的方法，其特征在于：还包括在被测系统的一个区域涂上一层材料，使第一点附近的第一区域具有第一反射率，在第一区域外的第二区域具有第二反射率，其中，第一点是与第一光束相交的一个点，第一反射率和第二反射率是互相不同的。

15.一个共路干涉系统，该干涉系统包括：

位于由物平面到入射平面的入射光束通路中的衍射元件，所述衍射元件的结构如下：

(i)衍射元件与所述入射光束相交，形成与一级衍射相对应的第一光束；

(ii)衍射元件与所述入射光束相交，形成与二级衍射相对应的第二光束；

所述第一光束与光轴上的第一点相交，第二光束与光轴上的第二点相交，第一点和第二点互不相同；

所述第二光束由一个反光镜反射，这个反射平面的位置与通过第二点的光轴垂直，形成所述干涉系统的参考光束，所述第一光束由所述反光镜反射，形成所述干涉系统的测试光束。

16.根据权利要求15所述的共路干涉系统，其特征在于：所述第一光束和第二光束沿着光轴传输，第一点和第二点位于这个光轴上。

17.根据权利要求16所述的共路干涉系统，其特征在于：反射表面是一个非球面，衍射元件的结构是为了在传输入射光的过程中产生第一光束和第二光束，第一光束具有与非球面匹配的第一波阵面，第二光束具有球面的第二波阵面。