[发明专利]—种液晶面板铜钼膜蚀刻液

权利要求书

1.一种液晶面板铜钼膜蚀刻液，其特征在于，对于组合物的总重量，由以下组分组成：

（1）1～20%重量的过氧化氢；

（2）0.01～8%重量的双氧水稳定剂；

（3）由1～8%重量的氨水和1～7%重量的有机次膦酸盐混合而成的pH调节剂；

（4）0.1～12%重量的螯合剂；

（5）0.1～5%重量的金属缓蚀剂；

（6）余量为水。

2.如权利要求1所述的液晶面板铜钼膜蚀刻液，其特征在于，对于组合物的总重量，由以下组分组成：

（1）6～12%重量的过氧化氢；

（2）5～8%重量的双氧水稳定剂；

（3）由5～6%重量的氨水和3～4%重量的有机次膦酸盐混合而成的pH调节剂；

（4）3～8%重量的螯合剂；

（5）2.7～3%重量的金属缓蚀剂；

（6）余量为水。

3.如权利要求1所述的液晶面板铜钼膜蚀刻液，其特征在于，所述金属缓蚀剂为钼酸或钼酸盐。

4.如权利要求2所述的液晶面板铜钼膜蚀刻液，其特征在于，所述金属缓蚀剂为钼酸钠、钼酸钾、钼酸铵及其混合物。

5.如权利要求1至4任意一项所述的液晶面板铜钼膜蚀刻液，其特征在于，所述有机次磷酸盐选自下组的盐：氨基二甲叉次膦酸钾、钠、铵盐、氨基三甲叉次膦酸钾、钠、铵盐，乙二胺四甲叉次膦酸钾、钠、铵盐、二亚乙基三胺五甲叉次膦酸钾、钠、铵盐以及它们的混合物。

6.如权利要求5所述的液晶面板铜钼膜蚀刻液，其特征在于，所述双氧水稳定剂选自以下组的双氧水稳定剂：锡酸盐稳定剂、焦磷酸盐稳定剂以及它们的混合物。

7.如权利要求6所述的液晶面板铜钼膜蚀刻液，其特征在于，所述双氧水稳定剂选自以下组的双氧水稳定剂：锡酸钠、钾、胺盐、焦磷酸钠、钾、胺盐以及它们的混合物。

8.如权利要求5所述的液晶面板铜钼膜蚀刻液，其特征在于，所述螯合剂选自以下组的螯合剂：有机膦酸类螯合剂、羟基羧酸类螯合剂、氨基羧酸类螯合剂，以及相应的钾、钠、胺盐类，以及它们的混合物。

9.如权利要求8所述的液晶面板铜钼膜蚀刻液，其特征在于，所述螯合剂是选自下组的螯合剂：氨基二甲叉膦酸、氨基三甲叉膦酸，乙二胺四甲叉膦酸、二亚乙基三胺五甲叉膦酸以及它们的混合物。