[发明专利]一种对VAD和OVD火焰温度进行在线调整的装置和方法

权利要求书

1.一种对VAD和OVD火焰温度进行在线调整的装置，其包括喷灯和设置在所述喷灯出口处的套筒，其特征在于，所述喷灯外表面套设有加热装置一，所述套筒外表面套设有加热装置二，预制棒疏松体靠近所述喷灯出口处为预制棒疏松体的沉积区域，靠近所述沉积区域设有一对加热装置三，所述加热装置三设置所述沉积区域的前后位置上。

2.根据权利要求1所述的一种对VAD和OVD火焰温度进行在线调整的装置，其特征在于，所述加热装置一的加热体为石墨电阻或电阻丝，所述加热体外部包裹绝缘保温层。

3.根据权利要求2所述的一种对VAD和OVD火焰温度进行在线调整的装置，其特征在于，所述加热装置一的加热体的最高加热温度至少为1200℃。

4.根据权利要求1所述的一种对VAD和OVD火焰温度进行在线调整的装置，其特征在于，所述套筒的孔径比所述喷灯出口处的外径大且能够卡套到所述喷灯出口处，所述套筒突出于所述喷灯的长度为所述喷灯孔径的3-5倍，所述套筒与喷灯处在同轴位置。

5.根据权利要求4所述的一种对VAD和OVD火焰温度进行在线调整的装置，其特征在于，所述加热装置二的加热体为石墨电阻或电阻丝，所述加热体外部包裹绝缘保温层。

6.根据权利要求5所述的一种对VAD和OVD火焰温度进行在线调整的装置，其特征在于，所述加热装置二的加热体的最高加热温度至少为1400℃。

7.根据权利要求1所述的一种对VAD和OVD火焰温度进行在线调整的装置，其特征在于，所述加热装置三为由支撑件支撑的石墨电阻，所述加热装置三的最高加热温度至少为1400℃。

8.根据权利要求1所述的一种对VAD和OVD火焰温度进行在线调整的装置，其特征在于，还包括非接触式高温红外测温仪，所述非接触式高温红外测温仪用于在线检测火焰和所述沉积区域的温度。

9.根据权利要求1所述的一种对VAD和OVD火焰温度进行在线调整的装置，其特征在于，所述喷灯为石英喷灯，所述套筒为石英套筒。

10.一种对VAD和OVD火焰温度进行在线调整的方法，其基于权利要求1-8任意一项中所述的对VAD和OVD火焰温度进行在线调整的装置，其特征在于，包括以下几步：

第一步：预制棒疏松体沉积之前，根据流体力学的要求先对所述喷灯各个通道内气体流量进行设定，使所述喷灯喷射出的各路气体处于层流状态；

第二步：预制棒疏松体沉积过程中，通过所述非接触式高温红外测温仪对喷灯喷出的火焰和沉积区域的温度在线检测，当所述喷灯被点火后并且调节各路气体达到目标值，开启并且调节加热装置一和加热装置二，使得火焰的温度达到目标值；

第三步：开启并且调节加热装置三，使沉积区域的温度达到目标值；

第四步：完成以上三步设备调节后，熄灭喷灯火焰，加热装置一、加热装置二和加热装置三的加热功率保持恒定，然后重新安装预制棒、点火等操作，开始沉积预制棒疏松体。