[发明专利]流延装置、溶液制膜设备及方法

说明书

本发明提供一种能够抑制高速制造薄型薄膜时的台阶形不均故障的产生及空气卷入的流延装置、溶液制膜设备及方法。从模具向行走的传送带流延浓液，从而该模具与传送带之间形成液珠。液珠在传送带上流延而成为流延膜。以往，液珠与传送带相接的流延线的液珠的宽度方向的中央部弯曲成凸状，在该弯曲的顶部附近发生空气的卷入。相对于模具，在传送带行走方向的上游侧，与液珠的两端部相对配置吸引箱，并从吸引口吸引空气。通过液珠的两端部被吸引，流延线仅在流延膜的两端部附近弯曲，且中央部呈直线状。由于中央部呈直线状，因此可抑制空气向液珠的卷入。

技术领域

本发明涉及一种流延装置、溶液制膜设备及方法。

背景技术

具有透光性的聚合物薄膜(以下，称为薄膜)广泛用作偏光板的保护膜、相位差膜、防反射膜、透明导电性薄膜等光学薄膜。对于薄膜要求厚度的均匀性和光学特性。以往，主要使用厚度为80μm以上的较厚的薄膜，但近年来，薄膜的薄膜化需求增强，要求厚度为40μm以下的薄膜。

作为薄膜的制造方法有溶液制膜方法。溶液制膜方法为例如通过如下来获得薄膜的方法，即，通过流延模具(以下，称为模具)在金属制滚筒或传送带等流延支承体(以下，称为支承体)上流延将聚合物溶解于溶剂的溶液(以下，称为浓液(dope))来形成流延膜，使其干燥并剥取。

为了提高溶液制膜的生产率，由浓液形成流延膜的流延工序的高速化成为课题。为了高速进行流延工序，例如若提高支承体的行走速度，则在行走的支承体的表面附近产生随着支承体的行走而与支承体一同向行走方向流动的风(以下，称为携带风)。若该携带风吹到从模具至支承体的浓液即液珠上，则液珠振动。该液珠的振动导致在所制造的薄膜的流延方向(支承体的行走方向)上产生厚度不均。因此，例如在日本专利公开2004-114328号公报中，相对于液珠在支承体行走方向的上游侧靠近液珠而配置挡风物，从而防止携带风进入液珠。

并且，在日本专利公开2010-158834号公报中，相对于液珠在支承体行走方向的上游侧靠近液珠而配置减压腔室，通过负压吸引携带风，从而抑制由携带风引起的液珠的振动。同样地，在日本专利公开2000-79621号公报中，设置有用于吸引液珠的吸引箱。该吸引箱划分为第1负压区域～第3负压区域而分别进行减压。在第1负压区域中遍及液珠的整个宽度方向而吸引液珠的周边，在第2负压区域中吸引液珠的宽度方向两侧部的周边，在第3负压区域中从液珠的两侧方向吸引。通过该吸引，抑制空气卷入到流延膜与支承体之间(以下，有时称为空气卷入)，且使液珠与支承体相接的流延线稳定化。

若使用吸引箱等吸引装置，则从液珠的宽度方向端部的侧面发生空气的卷入，若提高流延速度(支承体的行走速度)，则被卷入的空气变成气泡而出现在流延膜上，由于该气泡，在延伸时会产生破裂等，生产率下降。因此，在日本专利公开平10-264185号公报中，相对于液珠在支承体行走方向的下游侧配置喷吹喷嘴或加压箱，从而抑制空气的卷入。

但是，随着近年来的平板显示器的大型化和轻量化，也增进了所制造的薄膜的薄型化。为了更高效地制造薄型薄膜，除了在制膜后的延伸工序中通过延伸来形成为较薄之外，优选在液珠阶段就将厚度设为较薄，还对液珠的薄型化的改良进行了研究。

为了使液珠变薄，例如不改变模具吐出口的液珠厚度，而是提高支承体的行走速度来使液珠将要与支承体相接之前的厚度变薄，并且，将模具的吐出口的液珠厚度设为比以往薄。但是，若较薄地流延液珠，则即使在至今为止的液珠厚度上没有问题，液珠也容易受到与液珠变薄的量相应程度的携带风的影响。

例如，通过日本专利公开2004-114328号公报中记载的挡风物截断伴随支承体的移动的携带风时，若将液珠设为较薄，则在宽度方向上出现较长的厚度不均。该厚度不均在支承体行走方向上发生变化，因此变成在行走方向上变化成波形的台阶形不均故障而出现，要求改善。另外，台阶形不均是指在流延方向上产生的液珠的振动引起的周期性厚度不均，若恶化，则变得可以通过之后说明的评价方法来目视确认。