[发明专利]一种内孔表面纳米级金刚石涂层拉丝模具的制作方法

权利要求书

1.一种内孔表面纳米级金刚石涂层拉丝模具的制作方法，首先将衬底经化学处理后，然后将衬底直接置于CVD设备反应室中用CVD气相沉积方法，经过0.5h的形核与6~7h的生长过程，以气体流量300~400毫升/分的H₂来刻蚀石墨或抑制石墨生长，以5~10%的气体流量的丙酮、甲醇混合物为碳源，两者比例为1:1，在模具内孔表面沉积一层金刚石薄膜，其特征在于在生长过程结束前1~3h在反应气体中添加50~60%气体流量Ar掺杂。

2.根据权利要求1所述的一种内孔表面纳米级金刚石涂层拉丝模具的制作方法，其特征在于热丝为钽丝。

3.根据权利要求1所述的一种内孔表面纳米级金刚石涂层拉丝模具的制作方法，其特征在于衬底为含钴量8%以下的碳化物合金。

4.根据权利要求1所述的一种内孔表面纳米级金刚石涂层拉丝模具的制作方法，其特征在于CVD设备反应室气压为3~8Kp，通过热丝周围2200-2300℃热量产生一个等离子空间。

5.根据权利要求1所述的一种内孔表面纳米级金刚石涂层拉丝模具的制作方法，其特征在于在热丝与模具内孔之间施加50-100V的直流偏压，从而形成直流放电1~5A的电流，使模具内孔成为一个强等离子空间。