[发明专利]用于减少外腔激光器中模式跳转产生的噪声的方法和装置有效

专利信息
申请号: 201510080016.2 申请日: 2015-02-13
公开(公告)号: CN104882778B 公开(公告)日: 2019-05-10
发明(设计)人: M·朱;C·霍克 申请(专利权)人: 安捷伦科技有限公司
主分类号: H01S3/13 分类号: H01S3/13
代理公司: 北京坤瑞律师事务所 11494 代理人: 封新琴
地址: 美国加利*** 国省代码: 美国;US
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摘要:
搜索关键词: 用于 减少 激光器 模式 跳转 产生 噪声 方法 装置
【权利要求书】:

1.一种外腔激光器,包括:

增益芯片;

光学频率选择性元件,其有选择地将作为波长带中的光学频率的函数的离开所述增益芯片的受衰减的光发送回到所述增益芯片,所述光学频率选择性元件由相对于离开所述增益芯片的光的角度和距所述增益芯片的距离表征,所述角度和所述距离受控于致动器,来自所述光学频率选择性元件的一部分所述光受所述增益芯片放大;以及

致动器驱动器,其使得所述角度在由幅度和平均频率表征的运动中相对于平衡角度抖动,所述幅度足以激励所述增益芯片的多个相邻激光腔模式。

2.如权利要求1所述的外腔激光器,其中,所述光学频率选择性元件包括:光栅,其将波长带中离开所述增益芯片的光衍射回到所述增益芯片,所述光栅由相对于离开所述增益芯片的光的角度和距所述增益芯片的距离表征,所述角度和所述距离受控于所述致动器,一部分所述衍射后的光受所述增益芯片放大。

3.如权利要求1所述的外腔激光器,其中,所述多个相邻激光腔模式大于5并且小于50。

4.如权利要求2所述的外腔激光器,其中,所述致动器驱动器使得所述角度按作为包括所述光栅的机械系统的谐振频率的频率而抖动。

5.如权利要求2所述的外腔激光器,还包括:检测器,其测量所述外腔激光器生成的光的功率并且伺服所述致动器,使得所述受测量功率保持在最大功率,其中,所述光栅由作为用于所述增益芯片所放大的光的频率的函数的衍射曲线表征,其中,所述激光腔由自由光谱区表征,并且其中,所述角度受抖动使得所述衍射曲线的最大值受抖动达小于所述激光腔的所述自由光谱区的量。

6.如权利要求2所述的外腔激光器,其中,所述增益芯片按第一频率脉冲化,并且其中,所述平均频率小于所述第一频率。

7.如权利要求6所述的外腔激光器,其中,所述平均频率是所述第一频率的偶次亚谐波。

8.如权利要求2所述的外腔激光器,还包括:准直透镜,其在离开所述增益芯片的光撞击所述光栅之前根据该光生成准直光束,所述准直光束具有大于10mm的直径以及大于4.4mm的焦距。

9.一种用于操作激光器的方法,所述激光器包括增益芯片、光栅和致动器,所述光栅将波长带中离开所述增益芯片的光衍射回到所述增益芯片,所述光栅由相对于离开所述增益芯片的光的角度和距所述增益芯片的距离表征,所述角度和所述距离受控于所述致动器,所述方法包括:通过致动器驱动器操作所述致动器,以使得所述角度在由幅度和平均频率表征的运动中相对于平衡角度抖动。

10.如权利要求9所述的方法,还包括:测量所述激光器所生成的光的功率,并且调整所述致动器,使得所述受测量功率保持在最大功率,其中,所述光栅由作为用于所述增益芯片所放大的光的频率的函数的衍射曲线表征,其中,所述激光腔由自由光谱区表征,并且其中,所述角度受抖动使得所述衍射曲线的最大值受抖动达小于所述激光腔的所述自由光谱区的量。

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