[发明专利]一种透射电子显微镜用双轴倾转样品台有效
申请号: | 201510081273.8 | 申请日: | 2015-02-15 |
公开(公告)号: | CN104637765A | 公开(公告)日: | 2015-05-20 |
发明(设计)人: | 韩晓东;翟亚迪;毛圣成;王晓冬;张剑飞;李志鹏;孙世铎;张韬楠;蔡吉祥;王丽 | 申请(专利权)人: | 北京工业大学 |
主分类号: | H01J37/20 | 分类号: | H01J37/20 |
代理公司: | 北京思海天达知识产权代理有限公司 11203 | 代理人: | 刘萍 |
地址: | 100124 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 透射 电子显微镜 用双轴倾转 样品 | ||
1.透射电子显微镜用双轴倾转样品台,其特征在于,该装置包括样品杆杆身,驱动轴,连接轴,旋转轴、样品台,杆身前端留有旋转轴孔,样品台末端开有运动导槽,样品台通过旋转轴与样品杆杆身前端相连接,驱动轴上开有与连接轴配合的孔,通过连接轴在运动导槽位置处与驱动轴相连。通过直线步进电机使驱动轴在水平方向前进或后退,使样品台以旋转轴为中心进行旋转。样品杆杆身的中间开有与驱动轴相配合的通孔,电机固定在样品杆上,杆身的末端设有同轴电缆。
2.根据权利要求1所述的透射电子显微镜用双轴倾转样品台,其特征在于,所述的连接轴为刚性轴,运动导槽为与水平方向有夹角的倾斜槽。
3.根据权利要求1所述的透射电子显微镜用双轴倾转样品台,其特征在于,样驱动轴与直线步进电机之间通过螺纹连接,旋转轴与样品杆杆身前端之间的固定连接采用焊接的方式,和连接轴与驱动轴之间的固定连接采用焊接的方式。
4.根据权利要求1所述的透射电子显微镜用双轴倾转样品台,其特征在于,连接轴与旋转轴在一个平面内,连接轴在导槽的中心位置时样品台保持水平,电机带动驱动轴向前运动时,样品台向一侧倾转,电机带动驱动轴向后运动过中心位置继续往后运动时,样品台向另一侧倾转。
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