[发明专利]一种玻璃毛细管中制备微结构的方法

权利要求书

1.一种玻璃毛细管中制备微结构的方法，其特征在于：包括以下步骤：

1)将玻璃毛细管(4)清洗干净并且注入光刻胶；

2)打开飞秒激光器和微加工工作台，将飞秒激光器锁模之后导入到微加工工作台中，将内部注满光刻胶的玻璃毛细管横向固定于微加工工作台的三维移动平台上；

3)进行第一步调焦，使飞秒激光器(1)的焦点落在玻璃毛细管(4)水平宽度的正中心位置；

4)进行第二步调焦，使飞秒激光器(1)的焦点落在玻璃毛细管(4)内的光刻胶上；

5)进行第三步调焦，使飞秒激光器(1)的焦点落在玻璃毛细管(4)的底壁与光刻胶的交界处；

6)利用控制软件控制微加工工作台的移动并且同时用飞秒激光器进行微结构的光刻；

7)将玻璃毛细管(4)中未曝光的光刻胶吸出。

2.如权利要求1所述的玻璃毛细管中制备微结构的方法，其特征在于：所述步骤1)具体为于黑暗环境中取少量光刻胶置于小烧杯内，待光刻胶内无气泡时将用无水乙醇清洗过并干燥的所述玻璃毛细管(4)竖直插入其中，且静置一段时间，待玻璃毛细管(4)内吸入充满光刻胶之后将其取出，用蘸有无水乙醇的擦镜纸擦拭干净。

3.如权利要求1或2所述玻璃毛细管中制备微结构的方法，其特征在于：所述第一步调焦具体包括以下步骤：

1)控制三维移动平台移动进而调节玻璃毛细管(4)的高度和位置，使玻璃毛细管(4)的高度正好在飞秒激光的焦点附近；

2)使三维移动平台水平移动并通过正上方的CCD摄像机(25)观察直到发现明暗突变的边界位置，调节玻璃毛细管(4)的高度，使边界达到最清晰；

3)将玻璃毛细管(4)往延伸较深的方向水平移动，直至发现另一明暗突变的边界，取该水平移动的距离的一半，使玻璃毛细管(4)从另一明暗边界处往中间水平移动，此时飞秒激光的焦点落在玻璃毛细管(4)的水平宽度的正中心位置。

4.如权利要求3所述的玻璃毛细管中制备微结构的方法，其特征在于：所述第二步调焦包括以下步骤：通过计算机设计一面积为10um×10um的平面微结构，并运行软件控制固定玻璃毛细管(4)的三维移动平台运动，并对玻璃毛细管(4)进行光刻，如果正上方的CCD摄像机(25)中看不到玻璃毛细管(4)中的微结构，则移动三维移动平台调节玻璃毛细管的高度，使玻璃毛细管升高或降低，每升高或降低20um运行一次软件进行光刻，直至能够看见微结构。

5.如权利要求4所述的玻璃毛细管中制备微结构的方法，其特征在于：所述第三步调焦包括：1)升高玻璃毛细管(4)的高度，并且每升高5um运行一次软件进行光刻，直至不能加工出微结构位置；2)然后往回每隔1um逐步降低玻璃毛细管(4)的高度，同时运行软件进行光刻，使正好能加工出微结构；3)轴向移动玻璃毛细管(4)。

6.如权利要求1所述的玻璃毛细管中制备微结构的方法，其特征在于：其中的步骤7)包括将玻璃毛细管(4)的一端接触在吸水纸巾上，利用纸巾将玻璃毛细管(4)中未曝光的光刻胶完全吸出来，然后再将玻璃毛细管(4)竖直插入无水乙醇中，待无水乙醇充满玻璃毛细管(4)之后取出再用纸巾将无水乙醇吸出，反复此步骤3～4次。

7.如权利要求2所述的玻璃毛细管中制备微结构的方法，其特征在于：所述玻璃毛细管(4)的至少三分之一的长度插入到光刻胶中。