[发明专利]光伏材料及其制备方法有效
申请号: | 201510083957.1 | 申请日: | 2015-02-15 |
公开(公告)号: | CN104716219B | 公开(公告)日: | 2017-12-08 |
发明(设计)人: | 王婷婷;钟国华;薛艳君;顾光一;程亚;张倩;李晓光;罗海林;杨春雷;肖旭东 | 申请(专利权)人: | 深圳先进技术研究院;香港中文大学 |
主分类号: | H01L31/0749 | 分类号: | H01L31/0749 |
代理公司: | 广州华进联合专利商标代理有限公司44224 | 代理人: | 吴平 |
地址: | 518055 广东省深圳*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 材料 及其 制备 方法 | ||
1.一种光伏材料的制备方法,其特征在于,所述光伏材料的分子式为Cu(Al1-y,Xy)Se2,其中X为Si,0.1<y≤0.25,具体包括以下步骤:
采用共蒸镀法分别加热蒸发或者用电子束蒸发铜、铝、硒及X元素的靶材,在衬底的表面沉积制备所述光伏材料,所述光伏材料为类似CuAlSe2的正交晶系黄铜矿型结构,其中X元素替代部分Al原子的晶格位置,所述铜、铝、硒的靶材的加热温度由以下步骤确定:采用共蒸镀法分别同时加热铜、铝、硒的靶材,在衬底表面沉积生成正交晶系黄铜矿型结构的CuAlSe2材料,并且该CuAlSe2材料的摩尔比组成为Cu:Al:Se=1.0:(0.9~1.1):2.0。
2.根据权利要求1所述的光伏材料的制备方法,其特征在于,所述衬底为镀有钼层的玻璃基板。
3.根据权利要求1所述的光伏材料的制备方法,其特征在于,在衬底的表面沉积制备所述光伏材料之前先将所述衬底的温度加热至240℃~260℃。
4.根据权利要求2所述的光伏材料的制备方法,其特征在于,在衬底的表面沉积制备所述光伏材料的步骤之前还包括步骤:将所述镀有钼层的玻璃基板加热至500℃,在H2S或者S的氛围中硫化5-20分钟,形成50nm厚的MoS2层。
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