[发明专利]一种带舱外微调机构的真空光学实验系统

权利要求书

1.一种带舱外微调机构的真空光学实验系统，其特征在于，包括：光源、抽气装置、紫外单色仪、连接器件、多支真空管、真空舱、舱外调节装置、多台真空泵、隔振平台、多只空气弹簧、两个垫块；其中：

隔振平台上具有多个通孔或者没有通孔；

光源具有一连接口；抽气装置具有抽气口和第一支撑架；真空舱的侧壁上具有连接口、抽气口和第二支撑架；抽气装置、紫外单色仪和连接器件的两端都含有连接口；真空管具有端口和抽气口；

第一支撑架放置于靠近隔振平台的垂直面的位置，且第一支撑架与隔振平台的垂直面平行，或者在隔振平台上具有多个通孔的情况下第一支撑架位于隔振平台上对应的通孔中；第一支撑架的上端放置抽气装置，第一支撑架的下端放置于地面上并垂直于地面；

第二支撑架放置于靠近隔振平台的垂直面的位置，且第二支撑架与隔振平台的垂直面平行，或者在隔振平台上具有多个通孔的情况下第二支撑架位于隔振平台上对应的通孔中；第二支撑架的上端放置真空舱，第二支撑架的下端放置于地面上并垂直于地面；

隔振平台的下平面置于每个空气弹簧的上端面上；每个空气弹簧的下端面置于地面上；

每个垫块、舱外调节装置的下平面分别位于隔振平台的上平面对应的位置上并固定连接；

光源、紫外单色仪位于对应的垫块上并固定连接；

每个真空泵的吸气口分别与抽气装置、真空管、真空舱对应的抽气口连接；

光源、抽气装置、紫外单色仪、连接器件及真空舱的连接口分别与对应真空管的端口连接，用于形成细长光通路和细长光通路的真空环境；

舱外调节装置包括舱外连接部和舱内连接部；舱外连接部位于隔振平台上并固定连接；舱内连接部的两个连接端与真空舱对应的内壁通过波纹管连接，被测光学结构置于舱内连接部的上表面上并固定连接，舱外调节装置用于在真空舱外调节被测光学结构，使被测光学结构在真空舱内移动。

2.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述抽气装置包括：两个法兰、六对螺母、两个波纹管、三个连接杆、三个固定孔、真空管道、抽真空管道、第一支撑架、卡箍、连接孔、通气孔，其中：通气孔设于每个法兰中心的位置，在每个法兰上对称分布多个连接孔和三个固定孔，多个连接孔设于三个固定孔和一通气孔之间；真空管道的外壁穿设于第一支撑架的卡箍中；抽真空管道位于真空管道的一抽气口和真空泵的吸气口之间并固定连接；每个波纹管的两端位于法兰对应的通气孔和真空管道的一端之间并固定连接；每个法兰的两面位于每对螺母之间，每个法兰的每个固定孔、内侧螺母、外侧螺母分别与对应的连接杆的两端具有螺纹固定连接成一体；调整三个连接杆上的每对螺母，控制两个法兰之间的距离，将两个法兰与两个波纹管、真空管道、抽真空管道、第一支撑架形成一体结构。

3.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述连接器件由第一法兰接口、第一透光部、两个小波纹管、两个压力撑杆、大波纹管、第二法兰接口、第二透光部、壳体、两个密封盖组成；其中：在中空壳体的壳壁上设有一连接孔、两个安装小孔和一安装孔；两个安装小孔与第一透光部的中心对称并且设于中空壳体的对应的两侧；第一透光部的一端与连接孔端固定连接，第一透光部的另一端与第一法兰接口固定连接；第二透光部的一端置于中空壳体中部的安装孔中，并第二透光部的一端对称的位置与对应的压力撑杆的一端固定连接或为一体结构；每个压力撑杆的一端穿设于中空壳体对应的安装小孔中；每个压力撑杆的另一端置于对应的小波纹管中并且与对应的密封盖连接；第二透光部的另一端与第二法兰接口固定连接且位于中空壳体的外部；在靠近中空壳体的安装孔的位置及第二法兰接口之间安置大波纹管并固定连接；每个压力撑杆为L型结构。

4.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述第一支撑架是由两组相互平行放置的第一支撑架组成，两组第一支撑架的长度方向垂直于隔振平台的平面；在隔振平台上没有通孔的情况下隔振平台的一端的两侧面位于两组第一支撑架之间；每组第一支撑架的下端面置于地面上的不同位置。

5.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述第二支撑架是由两组相互平行放置的第二支撑架组成，两组第二支撑架的长度方向垂直于隔振平台的平面；在隔振平台上没有通孔的情况下隔振平台的另一端的两侧面位于两组第二支撑架的之间；每组第二支撑架的下端面置于地面上的不同位置。