[发明专利]一种掩模版传输装置及传输方法

权利要求书

1.一种掩模版传输装置，包括掩模版、掩模台以及机械手，所述机械手用于支撑和传输掩模版并将所述掩模版交接到掩模台上，其特征在于，还包括：

第一组标记和第二组标记，位于所述掩模版上；

预对准部件，与所述掩模台连接，用于在掩模版交接过程中探测所述第一组标记以进行第一次预对准，以及探测所述第二组标记以进行第二次预对准；

控制单元，用于根据第一次预对准结果调整掩模版和掩模台的相对位置，避免掩模版和掩模台相撞，以及根据第二次预对准结果调整掩模版和掩模台的相对位置，使得掩模版和掩模台的相对位置在设定范围之内。

2.如权利要求1所述的掩模版传输装置，其特征在于，所述掩模版上设有薄膜框架，所述掩模台包括承版台，控制单元根据第一次预对准结果调整掩模版和掩模台的相对位置，避免掩模版的薄膜框架和掩模台的承版台相撞。

3.如权利要求1所述的掩模版传输装置，其特征在于，所述第一组标记位于所述掩模版一侧的两个顶点，所述第二组标记位于所述掩模版另一侧的两个顶点。

4.一种掩模版传输方法，采用如权利要求1所述的掩模版传输装置，其特征在于，包括以下步骤：

步骤一、所述机械手支撑和传输所述掩模版向所述掩模台交接；

步骤二、所述掩模版的第一组标记被所述预对准部件探测以进行第一次预对准；

步骤三、控制单元根据第一次预对准结果调整掩模版和掩模台的相对位置，避免掩模版和掩模台相撞；

步骤四、随着掩模版交接的继续，所述第二组标记被所述预对准部件探测以进行第二次预对准；

步骤五、控制单元根据第二次预对准结果调整掩模版和掩模台的相对位置，使得掩模版和掩模台的相对位置在设定范围之内。

5.如权利要求4所述的掩模版传输方法，其特征在于，所述掩模版上设有薄膜框架，所述掩模台包括承版台，所述步骤三中控制单元根据第一次预对准结果调整掩模版和掩模台的相对位置，避免掩模版的薄膜框架和掩模台的承版台相撞。

6.如权利要求4所述的掩模版传输方法，其特征在于，所述第一组标记和第二组标记位于所述掩模版的四个顶点。