[发明专利]形状测量设备和形状测量误差校正方法

权利要求书

1.一种形状测量设备，包括：

移位台，其被配置为在坐标轴方向上移位，所述移位台包括要放置被测物的被测物放置部；

扫描探测器，其包括端部具有端部球的触针，所述扫描探测器被配置为使所述端部球与位于所述移位台的所述被测物放置部上的被测物相接触，以进行扫描测量；

端部球移位检测器，其在所述扫描探测器中位于所述触针的基端侧，所述端部球移位检测器被配置为检测所述端部球的移位；

标尺，其被配置为检测所述移位台在坐标轴方向上的移位；以及

计算器，其被配置为使用所述标尺所检测到的所述移位台的移位和所述端部球移位检测器所检测到的所述端部球的移位，来计算测量值，

其中，所述计算器还被配置为基于从所述标尺到所述被测物放置部的第一频率传递特性，来对所述标尺所检测到的所述移位台的坐标轴方向的移位进行校正处理，以及

所述计算器还被配置为基于从所述端部球到所述端部球移位检测器的第二频率传递特性，来对校正后的所述移位台的坐标轴方向的移位进行校正处理。

2.根据权利要求1所述的形状测量设备，其中，所述第一频率传递特性和所述第二频率传递特性各自为估计值。

3.根据权利要求2所述的形状测量设备，其中，

所述移位台被配置为在多个坐标轴方向上移位，

所述第一频率传递特性是针对所述移位台的各坐标轴作为实际测量值而测量出的，

所述第一频率传递特性的估计值是作为基于各个实际测量值的频率传递函数而计算出的。

4.一种形状测量误差校正方法，包括以下步骤：

使用端部球移位检测器来检测扫描探测器的设置于触针的端部球的移位，所述扫描探测器用于通过使所述端部球与被测物相接触来进行扫描测量；

使用标尺来检测能够在坐标轴方向上移位并且具有用于放置被测物的被测物放置部的移位台的移位；

将基于从所述标尺到所述被测物放置部的第一频率传递特性对所述标尺所检测到的所述移位台的移位进行校正得到的值作为第一校正值输出；

将基于从所述端部球到所述端部球移位检测器的第二频率传递特性对所述第一校正值进行校正得到的值作为第二校正值输出；以及

通过将所述第二校正值与所述端部球移位检测器所检测到的所述端部球的移位相加，来计算测量值。

5.根据权利要求4所述的形状测量误差校正方法，其中，所述第一频率传递特性和所述第二频率传递特性各自为估计值。

6.根据权利要求5所述的形状测量误差校正方法，其中，

所述移位台能够在多个坐标轴方向上移位，

所述第一频率传递特性是针对所述移位台的各坐标轴作为实际测量值而测量出的，

所述第一频率传递特性的估计值是作为基于各个实际测量值的频率传递函数而计算出的。

7.根据权利要求4所述的形状测量误差校正方法，其中，基于所述第一频率传递特性来对从所述标尺所检测到的所述移位台的移位中减去表示被测物的形状的设计值所得到的值进行校正；

将所述设计值与所述第二校正值相加；以及

将相加后的第二校正值与所述端部球移位检测器所检测到的所述端部球的移位相加，并且计算测量值。

8.根据权利要求5所述的形状测量误差校正方法，其中，基于所述第一频率传递特性来对从所述标尺所检测到的所述移位台的移位中减去表示被测物的形状的设计值所得到的值进行校正；

将所述设计值与所述第二校正值相加；以及

将相加后的第二校正值与所述端部球移位检测器所检测到的所述端部球的移位相加，并且计算测量值。

9.根据权利要求6所述的形状测量误差校正方法，其中，基于所述第一频率传递特性来对从所述标尺所检测到的所述移位台的移位中减去表示被测物的形状的设计值所得到的值进行校正；

将所述设计值与所述第二校正值相加；以及

将相加后的第二校正值与所述端部球移位检测器所检测到的所述端部球的移位相加，并且计算测量值。

10.根据权利要求4-9之一所述的形状测量误差校正方法，其中，所述第二校正值是基于从所述端部球到触针安装部的第三频率传递特性进行校正、之后基于从所述触针安装部到所述端部球移位检测器的第四频率传递特性对基于所述第三频率传递特性进行校正得到的校正后的值进一步进行校正所得到的值。