[发明专利]一种小曲率小口径球面光学元件表面曲率半径测量方法

权利要求书

1.一种小曲率小口径球面光学元件表面曲率半径测量方法，其特征在于，该方法利用光学轮廓仪进行测量，包括以下步骤：

A、使用标准平面镜样品对光学表面轮廓仪内参考镜的表面误差进行校准；

B、利用牛顿环原理对干涉图中心位置进行修正，使得测试区域中心和干涉图中心重合；

C、利用光程差为零时剩余表面误差最小的原则确定零级干涉条纹所在位置；

D、根据校正后的光学轮廓仪测量得到的表面轮廓信息计算球面光学元件表面曲率半径。

2.根据权利要求1所述的小曲率小口径球面光学元件表面曲率半径测量方法，其特征在于，所述步骤A中，在不改变任何参数的情况下，将参考镜进行多次移动，并在每个移动位置进行多次校准。

3.根据权利要求1所述的小曲率小口径球面光学元件表面曲率半径测量方法，其特征在于，所述步骤B具体为：

B1)根据牛顿环原理计算干涉图中心相对于测试区域中心偏差的理论值；

B2)采用四步相交法确定干涉图中心位置；

B3)根据所述理论值对步骤B2获得的干涉图中心位置进行修正。

4.根据权利要求1所述的小曲率小口径球面光学元件表面曲率半径测量方法，其特征在于，所述步骤C具体为：

从当前亮环所在位置分别沿着两个方向移动条纹，并在每个移动位置进行多次重复测量，将剩余表面误差均方根值最小的位置确定为零级条纹所在位置。

5.根据权利要求1所述的小曲率小口径球面光学元件表面曲率半径测量方法，其特征在于，该方法还包括：

移动测量区域，对每个测量区域重复步骤A～D，获得每个测量区域的曲率半径值，以各区域曲率半径值的平均值为最终的球面光学元件表面曲率半径。

6.根据权利要求5所述的小曲率小口径球面光学元件表面曲率半径测量方法，其特征在于，各测量区域的累积测试区域覆盖球面光学元件表面的整个工作区域。