[发明专利]可实现高偏振消光比的偏振片及其制作方法和测试装置有效

专利信息
申请号: 201510088213.9 申请日: 2015-02-26
公开(公告)号: CN104597551B 公开(公告)日: 2017-07-28
发明(设计)人: 华勇;田自君;张征;乔海燕 申请(专利权)人: 中国电子科技集团公司第四十四研究所
主分类号: G02B5/30 分类号: G02B5/30;G01M11/02
代理公司: 重庆辉腾律师事务所50215 代理人: 侯懋琪
地址: 400060 重庆*** 国省代码: 重庆;85
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摘要:
搜索关键词: 实现 偏振 及其 制作方法 测试 装置
【权利要求书】:

1.一种可实现高偏振消光比的偏振片,其特征在于:所述偏振片(10)的基体采用由铌酸锂晶体切割而成的铌酸锂晶片(1);所述铌酸锂晶片(1)为片状结构体,铌酸锂晶片(1)的中部设置有柱状的光波导区(2),光波导区(2)的轴向与铌酸锂晶片(1)的大平面垂直,光波导区(2)贯通铌酸锂晶片(1);铌酸锂晶片(1)的大平面上光波导区(2)以外的区域,覆盖有阻光膜层(3);铌酸锂晶片(1)的大平面与铌酸锂晶体的Y-Z切向或X-Z切向平行。

2.根据权利要求1所述的可实现高偏振消光比的偏振片,其特征在于:所述光波导区(2)的横截面呈圆形,光波导区(2)的直径为4~100mm,所述铌酸锂晶片(1)的形状为与光波导区(2)同心的圆盘形。

3.根据权利要求1所述的可实现高偏振消光比的偏振片,其特征在于:所述铌酸锂晶片(1)在光波导区(2)轴向上的厚度为0.01~1mm。

4.根据权利要求1所述的可实现高偏振消光比的偏振片,其特征在于:所述光波导区(2)采用退火质子交换工艺制作。

5.根据权利要求1所述的可实现高偏振消光比的偏振片,其特征在于:所述铌酸锂晶片(1)的大平面与铌酸锂晶体的Y-Z切向平行。

6.根据权利要求1所述的可实现高偏振消光比的偏振片,其特征在于:所述阻光膜层(3)采用钛膜。

7.一种可实现高偏振消光比的偏振片的制作方法,其特征在于:按如下步骤制作偏振片(10):

1)将铌酸锂晶体切割为铌酸锂晶片(1);铌酸锂晶片(1)的大平面与铌酸锂晶体的Y-Z切向或X-Z切向平行;

2)在铌酸锂晶片(1)的大平面上淀积金属膜层,形成阻光膜层(3);

3)在铌酸锂晶片(1)正反两侧的大平面上各设置一圆形的操作区,两个操作区直径相同、同轴设置,操作区的直径为4~100mm;采用光刻、显影或腐蚀工艺,去除操作区范围内的阻光膜层(3);

4)将铌酸锂晶片(1)浸入质子源熔液中进行充分交换,然后将铌酸锂晶片(1)置入退火炉中退火;

加工完成后,两个操作区之间即形成圆柱形的光波导区(2)。

8.根据权利要求7所述的可实现高偏振消光比的偏振片的制作方法,其特征在于:步骤1)中,切割出的铌酸锂晶片(1)的形状为与光波导区(2)同心的圆盘形,铌酸锂晶片(1)在光波导区(2)轴向上的厚度为0.01~1mm,铌酸锂晶片(1)的大平面与铌酸锂晶体的Y-Z切向平行;步骤2)中,所述金属膜层采用钛膜;步骤3)中,质子源熔液采用苯甲酸和苯甲酸锂组成的缓冲质子源熔液。

9.一种偏振消光比测试装置,其特征在于:所述偏振消光比测试装置由输入光接口(4)、两块准直透镜(5)、偏振片(10)、夹具、旋转电机(6)、光电探测器(7)和信号处理电路(8)组成;

所述偏振片(10)的基体采用由铌酸锂晶体切割而成的铌酸锂晶片(1);所述铌酸锂晶片(1)为片状结构体,铌酸锂晶片(1)的中部设置有圆柱形的光波导区(2),光波导区(2)的轴向与铌酸锂晶片(1)的大平面垂直,光波导区(2)贯通铌酸锂晶片(1);铌酸锂晶片(1)的大平面上光波导区(2)以外的区域,覆盖有阻光膜层(3);光波导区(2)的直径为4~100mm;铌酸锂晶片(1)的大平面与铌酸锂晶体的Y-Z切向或X-Z切向平行;所述光波导区(2)的轴心线形成偏振片(10)的光轴;

输入光接口(4)、准直透镜(5)、偏振片(10)和光电探测器(7)同光轴设置,其中,偏振片(10)置于两块准直透镜(5)之间,输入光接口(4)和光电探测器(7)分别设置于两块准直透镜(5)的外侧;

偏振片(10)通过夹具与旋转电机(6)传动连接,旋转电机(6)能驱动偏振片(10)以偏振片(10)的光轴为旋转轴转动;光电探测器(7)的输出部与信号处理电路(8)电气连接。

10.根据权利要求9所述的偏振消光比测试装置,其特征在于:所述铌酸锂晶片(1)在光波导区(2)轴向上的厚度为0.01~1mm;所述铌酸锂晶片(1)的形状为与光波导区(2)同心的圆盘形;所述光波导区(2)采用退火质子交换工艺制作;所述铌酸锂晶片(1)的大平面与铌酸锂晶体的Y-Z切向平行;所述阻光膜层(3)采用钛膜。

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