[发明专利]一种用于借助于X射线荧光进行测量对象的测量的方法

权利要求书

1.一种用于借助于X射线荧光进行的测量对象（24）的测量或测量对象（24）的元素浓度的确定的方法，

－ 其中，将初级射束（22）从X射线辐射源（21）指引到测量对象（24）上，

－ 其中从测量对象（24）发射的次级辐射（26）被检测器（27）检测并被中继到评估设备（29），

－ 其中，初级射束（22）在被划分成网格部分表面（1…n）以及被再分成至少一个行（Z₁至Z_n）和至少一个列（S₁…S_n）的网格表面（31）内被移动，并且将初级射束（22）指引到用于每个网格部分表面（1…n）的网格表面（31）上，并且初级射束（22）的测量光斑（36）至少填充网格部分表面，

其特征在于，

－ 检测测量对象（24）的测量表面（25）的横向尺寸，

－ 将测量对象（24）的测量表面（25）的横向尺寸与出现在测量对象（24）上的初级射束（22）的测量光斑（36）的尺寸相比较，

－ 在确定小于测量光斑（36）的测量对象（24）的测量表面（25）的尺寸期间，选择网格表面（31）的尺寸，其至少覆盖测量对象（24）的测量表面（25），

－ 根据网格表面（31）的尺寸与测量对象（24）的测量表面（25）的尺寸的比来确定比例因数α，

－ 从相应的网格部分表面（1…n）将次级辐射（26）的所检测光谱相加、求平均值且随后乘以比例因数α，以及

－ 提供用比例因数α进行修正的来自网格部分表面（1…n）的次级辐射（26）的光谱以用于定量评估。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于网格部分表面（1…n）的间距由初级射束（22）的测量光斑（36）的尺寸确定。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于网格表面（31）的尺寸由直接地相互上下地成一直线或重叠的初级射束（22）的测量光斑（36）的整数倍形成。

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于借助于评估软件，根据网格部分表面（1…n）处的单个测量的光谱，确定并发射测量对象（24）的元素浓度或层厚度。

5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于测量对象（24）从一个网格部分表面到网格表面（31）的行或列内的相邻网格部分表面的行进距离由辐射源（21）的初级射束（22）的测量光斑（36）的尺寸确定。

6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于测量对象（24）的测量表面（25）的尺寸由光学测量方法确定。

7.根据权利要求6所述的方法，其特征在于网格表面（31）的尺寸被设计成大于测量对象（24）的所确定测量表面（25），并被以网格表面（31）包括所确定测量表面（25）和至少部分地将其围绕的边缘（35）的这样的方式确定成更大。

8.根据权利要求7所述的方法，其特征在于在网格部分表面（1…n）的所述至少一个尺寸的宽度下确定围绕测量对象（24）的测量表面（25）的边缘（35）。

9.根据权利要求1所述的方法，其特征在于针对比测量光斑（36）的尺寸更小的两个测量对象（24）之间的距离，将两个或更多测量对象（24）组合成一个总测量表面，并针对总测量表面确定网格表面（31），并且由此针对被组合成总测量表面的单个测量对象（24）推导出薄层的平均厚度或平均元素浓度。

10.根据权利要求1所述的方法，其特征在于所述方法用于薄层的厚度的测量。