[发明专利]滤光器、光学模块及电子设备

权利要求书

1.一种滤光器，其特征在于，具备：

固定基板；

可动部，与所述固定基板对向配置；

第一反射膜，设置于所述固定基板；

第二反射膜，设置于所述可动部，所述第二反射膜与所述第一反射膜对向；以及

间隔控制部，控制所述第一反射膜和所述第二反射膜的间隔，

所述第一反射膜和所述第二反射膜中的至少一个被第一导电膜和第二导电膜夹着，所述第一导电膜和所述第二导电膜是相同材质、相同膜厚。

2.根据权利要求1所述的滤光器，其特征在于，所述第一导电膜和所述第二导电膜是相同形状。

3.根据权利要求1或2所述的滤光器，其特征在于，所述第一导电膜及所述第二导电膜的材质包含镓铟氧化物。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的滤光器，其特征在于，所述第一反射膜和所述第二反射膜被电连接。

5.根据权利要求1至3中任一项所述的滤光器，其特征在于，具备：

第一外部端子，与所述第一反射膜连接；以及

第二外部端子，与所述第二反射膜连接。

6.一种光学模块，其特征在于，具备：

权利要求1至5中任一项所述的滤光器；以及

收纳部，收纳所述滤光器。

7.一种电子设备，其特征在于，

所述电子设备具备滤光器、以及控制所述滤光器的控制部，

所述滤光器具备：

固定基板；

可动部，与所述固定基板对向配置；

第一反射膜，设置于所述固定基板；

第二反射膜，设置于所述可动部，所述第二反射膜与所述第一反射膜对向；以及

间隔控制部，控制所述第一反射膜和所述第二反射膜的间隔，

所述第一反射膜和所述第二反射膜中的至少一个被第一导电膜和第二导电膜夹着，所述第一导电膜和所述第二导电膜是相同材质、相同膜厚。

8.一种滤光器，其特征在于，具备：

固定基板；

可动部，与所述固定基板对向配置；

第一反射膜，设置于所述固定基板；

第二反射膜，设置于所述可动部，所述第二反射膜与所述第一反射膜对向；以及

间隔控制部，控制所述第一反射膜和所述第二反射膜的间隔，

所述第一反射膜和所述第二反射膜中的至少一个被第一导电膜和第二导电膜夹着，所述第一导电膜和所述第二导电膜是相同的应力分布。