[发明专利]一种利用高温焙烧清洗管式炉炉管中残留物的方法在审
申请号: | 201510090430.1 | 申请日: | 2015-02-28 |
公开(公告)号: | CN104630745A | 公开(公告)日: | 2015-05-20 |
发明(设计)人: | 张芷铭;邱俊 | 申请(专利权)人: | 安庆美晶新材料有限公司 |
主分类号: | C23C16/44 | 分类号: | C23C16/44 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 246008 安徽省安庆市安庆经济技术开发区皖江大*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 利用 高温 焙烧 清洗 管式炉 炉管 残留物 方法 | ||
【权利要求书】:
1.一种利用高温焙烧清洗管式炉炉管中残留物的方法,该方法包括步骤:将管式炉的炉管两端密封装置打开;再将炉膛加热至高温焙烧;其特征在于利用高温焙烧去除附着的剩余反应物和反应中间产物等杂质。
2.根据权利要求1所述的一种利用高温焙烧清洗管式炉炉管中残留物的方法,其特征在于根据不同的炉管材质和附着不同的剩余反应物等杂质,采取相应的焙烧温度和焙烧时间。
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的