[发明专利]滤光器、光学模块、电子设备及滤光器的制造方法

说明书

本申请根据于2014年2月28日提交的日本专利申请No.2014-038178的内容，其全部内容结合于此作为参考。

技术领域

本发明涉及滤光器、光学模块、电子设备及滤光器的制造方法。

背景技术

目前使用一种从入射光中选择指定波长的光并使其通过的滤光器。并且，专利文献1中公开了使指定波长的光通过的滤光器。该滤光器中，固定基板和可动基板对向配置，在上述基板的对向面上分别设置有反射膜。

该滤光器选择性地取出与对向的一对反射膜间的间隙对应的波长的光。通过控制基板间的距离的致动器(actuator)来设定反射膜间的距离。在各基板上，致动器通过设置于反射膜的周围的电极等构成，电压施加于各电极。并且，静电力作用于电极间而使基板变形，从而控制反射膜间的距离。

在反射膜设置有配线，配线与静电电容检测电路连接。反射膜间的距离越短，则静电电容越大。静电电容检测电路检测电极间的静电电容而推定电极间的距离。

【现有技术文献】

【专利文献】

专利文献1：日本特开平1-94312号公报

需要将反射膜间的距离控制为通过的光的波长程度的短距离。因此，反射膜、作为从反射膜取出的配线的取出线为薄的膜。由于薄的取出线容易缺损，因此取出线与比取出线厚的难以缺损的配线连接。当将厚的配线设置于基板上且将取出线设置于配线上时，将取出线设置于从基板上至配线的上面的平面差异处。取出线使用溅射装置、蒸镀装置等而设置。当将取出线设置于配线的平面差异处时，取出线在平面差异的侧面变薄。因此，取出线在平面差异处易于缺损。因此，希望有一种具有从反射膜引出的取出线和配线高品质地电连接的构造的滤光器。

发明内容

本发明为了解决上述的问题而通过以下的方式或者适用例而实现。

[适用例1]

本适用例涉及的滤光器的特征在于具备：固定基板；可动部，与所述固定基板对向配置；第一反射膜，设置于所述固定基板；第二反射膜，设置于所述可动部，所述第二反射膜与所述第一反射膜对向；以及间隔控制部，控制所述第一反射膜和所述第二反射膜的间隔，在所述第一反射膜和所述第二反射膜之间设置有导电性的第一基膜，在所述第一基膜上设置有第一配线，在所述第二反射膜和所述可动部之间设置有导电性的第二基膜，在所述第二基膜上设置有第二配线。

根据本适用例，滤光器具备固定基板和可动部。第一反射膜设置于固定基板，第二反射膜设置于可动部。第一反射膜和第二反射膜对向配置。第一反射膜及第二反射膜反射入射光。在第一反射膜和第二反射膜之间产生光的多重反射，相位配合的光向入射光行进的方向透过并行进。间隔控制部控制第一反射膜和第二反射膜的间隔。由此，滤光器能够控制透过的光的波长。

在第一反射膜和固定基板之间设置有第一基膜(第1下地膜)。由于存在第一基膜，与将第一反射膜直接设置于固定基板上相比，贴紧性良好，能够将第一反射膜设置于固定基板上。并且，第一配线设置于第一基膜上。第一配线为比第一基膜厚的构件。当将第一基膜配置于第一配线上时，由于从固定基板上开始至第一配线上为止配置有第一基膜，因此第一基膜容易产生断线。另一方面，在本适用例中，由于第一配线设置于第一基膜上，因此，能够形成第一基膜难以断线的构造。

同样地，在第二反射膜和可动部之间设置有第二基膜。由于存在第二基膜，与将第二反射膜直接设置于可动部上相比，贴紧性良好，能够将第二反射膜设置于可动部上。并且，第二配线设置于第二基膜上。因此，能够形成第二基膜难以断线的构造。从而，能够贴紧性良好地将第一反射膜设置于固定基板，能够使第一配线与第一反射膜高品质地电连接。同样地，能够贴紧性良好地将第二反射膜设置于可动部上，能够使第二配线与第二反射膜高品质地电连接。其结果是，能够得到反射膜被高品质地设置、反射膜和配线被高品质地电连接的滤光器。

[适用例2]

在上述适用例涉及的滤光器中，在所述第一反射膜和所述第二反射膜中的至少一个的表面设置有导电性的保护膜。

根据本适用例，保护膜设置于反射膜的表面。通过保护膜，能够防止反射膜的表面受到损伤。因此，能够高品质地制造滤光器。并且，由于保护膜具有导电性，因此，能够抑制在保护膜的表面产生静电。因此，能够高精度地控制第一反射膜和第二反射膜之间的距离。

[适用例3]

在上述适用例涉及的滤光器中，在从所述第一反射膜的厚度方向俯视观察时，所述第一反射膜小于所述第一基膜，所述第二反射膜小于所述第二基膜。