[发明专利]气态物料的配料方法

权利要求书

1.一种气态物料的配料方法，其特征在于：包括以下步骤：

（ⅰ）向配料罐（4）中通入WF₆气体

关闭所有阀门，阀门F0与WF₆原始料瓶连通，向WF₆供料容器（5）充入WF₆，然后取下WF₆原始料瓶，开启F1~F3阀门，当Ⅰ号压力计（19）的压力达到1500Pa~3000Pa时，开启F4阀门、F5阀门、手动微调阀门（8）使通过WF₆质量流量计（9）的WF₆质量流量达到要求10g/h~60g/h并通入到配料罐（4）中；

（ⅱ）对HF供料装置（2）抽空

开启真空泵机组（18）及WND1~WND3阀门，然后依次开启WD阀门、W4阀门、W5阀门、W6阀门、W7阀门、W8阀门、W9阀门、W10阀门、WN1阀门对HF供料装置（2）进行抽空，抽空过程中，控制Ⅱ号恒温装置（26）使收料容器（14）温度低于-180℃；

（ⅲ）调整HF气体的漏率

当所需物料漏率5×10^-5Pa·m³/s~1.5×10^-2Pa·m³/s时，控制Ⅰ号恒温装置（25）使HF供料容器（10）的温度保持在0~15℃，关闭WD阀门、W4阀门、W7阀门、W9阀门、W10阀门、WN1阀门，开启W1阀门、W2阀门、W3阀门向HF稳压罐（11）中充料，当II号压力计（20）的示数高于50000Pa时，开启W4阀门，通过VI号压力计（24）计算单位时间内进入标准体积罐（13）的物料量来计算得到该状态下的流量大小，调整HF质量流量计（12）开度直至物料漏率达到上述要求数值；当所需物料漏率大于1.5×10^-2Pa·m³/s时，调整II号恒温装置（26）使HF供料容器（10）温度控制在-55℃~-45℃，关闭WD阀门、W4阀门、HF质量流量计（12）、W6阀门、W9阀门、W10阀门、WN1阀门，开启W1阀门、W2阀门、W3阀门向HF稳压罐（11）中充料，当II号压力计（20）的示数低于5000Pa，之后开启W4阀门，通过VI号压力计（24）计算单位时间内进入标准体积罐（13）的物料量来计算得到该状态下的流量大小，调整阀门W7开度直至物料漏率达到上述要求数值；

（ⅳ）向配料罐（4）中通入HF气体

开启WN1阀门，当标准体积罐（13）上的VI号压力计（24）示数大于或等于VII号压力计（27）示数时，开启WN2阀门，当VI号压力计（24）、VII号压力计（27）示数稳定后，开启W9阀门、W10阀门并关闭W8阀门、WN1阀门，使得HF供入配料罐（4），开启真空泵机组（18）及WND3阀门、WND2阀门、WND1阀门，对标准体积罐（13）进行抽空处理，抽空过程中，控制Ⅱ号恒温装置（26）使收料容器（14）温度低于-180℃；

（ⅴ）对N₂供料装置（3）抽空

依次开启ND阀门、N2阀门、N3阀门、N4阀门、N5阀门、N6阀门对N₂供料装置（3）进行抽空，当抽空完毕后，关闭真空泵机组（18）及WND3阀门、WND2阀门、WND1阀门以及ND阀门；

（ⅵ）调整N₂气体的漏率

当所需物料漏率5×10^-5Pa·m³/s~1.5×10^-2Pa·m³/s时，关闭N4阀门、N6阀门、N7阀门，开启N1阀门向N₂稳压罐（16）中充料，当Ⅲ号压力计（21）示数高于50000Pa时，开启N2阀门，通过VI号压力计（24）计算单位时间内进入标准体积罐（13）的物料量来计算得到该状态下的流量大小，调整N₂质量流量计（17）开度直至物料漏率达到上述要求数值，当所需物料漏率大于1.5×10^-2Pa·m³/s时，关闭N3阀门、N₂质量流量计（17）、N6阀门、N7阀门，开启N1阀门向N₂稳压罐（16）中充料，当Ⅲ号压力计（21）示数低于5000Pa，开启N2阀门、N4阀门，通过VI号压力计（24）计算单位时间内进入标准体积罐（13）的物料量来计算得到该状态下的流量大小，调整N4阀门开度直至物料漏率达到上述要求数值；

（ⅶ）向配料罐（4）中通入N₂气体

开启N7阀门，当VI号压力计（24）示数大于或等于VII号压力计（27）示数时，开启WN1阀门，VI号压力计（24）、VII号压力计（27）示数稳定后，关闭N5阀门、WN1阀门，开启N6阀门、N7阀门，使得N₂供入配料罐（4），然后开启真空泵机组（18）及WND3阀门、WND2阀门、WND1阀门，对标准体积罐（13）进行抽空处理，控制Ⅱ号恒温装置（26）使收料容器（14）温度低于-180℃。