[发明专利]吸盘、机器人手及机器人

说明书

技术领域

本发明涉及一种吸盘、机器人手及机器人。

背景技术

以往，已知一种用于搬运晶圆或玻璃基板等薄板状的基板的基板搬运装置。

所述基板搬运装置例如具有机器人臂，通过一边使用设于所述机器人臂的前端部的机器人手来保持基板，一边使机器人臂在水平方向等进行动作来搬运基板。

另外，在搬运中，由于需要切实地保持基板而防止错位，因此上述机器人手在具备利用了真空吸引方式等的吸盘的基础上，通过所述吸盘一边吸附基板，一边搬运基板(例如，参照专利文献1)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2007-53313号公报

发明内容

本发明所要解决的问题

然而，在上述现有技术中，对于切实地吸附产生了弯曲的基板而言，存在进一步改善的余地。

之所以这样是因为，例如上述的基板搬运装置利用于半导体制造工艺等时，由于基板经过成膜处理这样的热处理工序，因此存在因受到热影响而产生弯曲的情况。

此外，还因为，不限于上述这样的热影响的情况，也作为将基板薄型化或大型化的情况、因基板材质不同的情况等所产生的共同问题。

本实施方式的一个技术方案是鉴于上述情况而做出的，其目的是提供一种即使在产生弯曲的情况下，也可以切实地吸附基板的吸盘、机器人手及机器人。

为解决问题的方法

本实施方式的一个技术方案涉及的吸盘具有盘部、一对固定部与一对支承部。所述盘部对对象物体进行吸附。所述一对固定部在从所述盘部分离的位置隔着该盘部相对而设置，并作为所述盘部的固定端。所述一对支承部分别具有比所述盘部以及所述固定部的分离距离还长的延伸长度，并从所述盘部的中心轴线上的连接端部至所述固定部分别连结。

发明效果

根据本实施方式的一个技术方案，即使在产生弯曲的情况下，也可以切实地吸附基板。

附图说明

图1是实施方式涉及的机器人的立体示意图。

图2是手的俯视示意图。

图3A是吸盘的俯视示意图。

图3B是图3A所示的A-A′线的大致剖视图。

图4A是表示吸盘的安装结构的大致剖视图(之一)。

图4B是表示吸盘的安装结构的大致剖视图(之二)。

图5A是表示固定部的变形例的大致剖视图(之一)。

图5B是表示固定部的变形例的大致剖视图(之二)。

图6A是表示吸盘的配置例的俯视示意图。

图6B是表示吸盘的动作的俯视示意图。

图7是第一变形例涉及的吸盘的俯视示意图。

图8是第二变形例涉及的吸盘的俯视示意图。

附图标记说明

1：机器人          2：基台

3：升降部          4：第一关节部

5：第一臂          6：第二关节部

7：第二臂          8：第三关节部

10：手             11：板支承部

12：板             12a：进气孔

12b：孔部          12c：环状壁部

12d：通孔

13、13’、13A、13B：吸盘

13a：盘部          13aa：接触部

13ab：主面部       13ac：进气孔

13b：固定部        13ba：通孔

13bb：开口销部     13c：支承部

14：真空路         15：密封部件

20：控制装置       30：上位装置

C：位于规定位置的晶圆的中心  CC：同一圆周

SC：连结部件       W：晶圆

ax-c：中心线

d：分离距离

具体实施方式

以下，参照附图来详细地说明本发明的吸盘、机器人手以及机器人的实施方式。此外，本发明不限于以下所示的实施方式。

另外，在以下中，例举机器人是搬运作为被搬运物的晶圆的基板搬运用机器人的情况来进行说明。对晶圆标注附图标记“W”。另外，在以下中，将“构成机械结构，能相互进行相对运动的各刚性构件”作为“连杆”，有时将所述“连杆”记为“臂”。另外，将机器人手记为“手”。