[发明专利]一种新型单坩埚e型电子枪的结构在审
申请号: | 201510092135.X | 申请日: | 2015-02-28 |
公开(公告)号: | CN104630721A | 公开(公告)日: | 2015-05-20 |
发明(设计)人: | 赵学琴;张勇 | 申请(专利权)人: | 北京北仪创新真空技术有限责任公司 |
主分类号: | C23C14/30 | 分类号: | C23C14/30 |
代理公司: | 北京凯特来知识产权代理有限公司 11260 | 代理人: | 郑立明;陈亮 |
地址: | 102600 北京市大兴区*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 新型 坩埚 电子枪 结构 | ||
1.一种新型单坩埚e型电子枪的结构,其特征在于,所述e型电子枪的坩埚中心与灯丝中心的位置由灯丝中心与坩埚中心的水平距离l、电子轨迹最高点与极靴上端面的距离h、电子运动轨迹半径R共同决定,其中:
且l=(60%-70%)L,L为所述e型电子枪两平板形极靴之间的宽度;
所述R由以下公式获得:
其中U为所述e型电子枪的加速电压,B为磁场强度。
2.根据权利要求1所述新型单坩埚e型电子枪的结构,其特征在于,所述L根据所述e型电子枪的坩埚容量V来确定,具体包括:
首先由公式b=a-etanα来确定坩埚外径a,其中b为坩埚内径,e为坩埚深度,α为坩埚开口角度;
再由公式L=a+2c+2d来确定L,其中c为坩埚槽间距,d为坩埚壁厚。
3.根据权利要求2所述新型单坩埚e型电子枪的结构,其特征在于,
当坩埚容量V为100ml时,所述L=110mm。
4.根据权利要求1所述新型单坩埚e型电子枪的结构,其特征在于,
所述加速电压U固定为10KV,并调解不同的磁场强度以获得多组R。
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