[发明专利]一种极微细无金银合金镀金键合丝及其制作方法在审

专利信息
申请号: 201510092825.5 申请日: 2015-03-02
公开(公告)号: CN104716250A 公开(公告)日: 2015-06-17
发明(设计)人: 程平;李明;郑东风 申请(专利权)人: 安徽华晶微电子材料科技有限公司
主分类号: H01L33/62 分类号: H01L33/62;C25D7/06;C22C5/06;C22F1/14
代理公司: 代理人:
地址: 238000 安徽省合肥*** 国省代码: 安徽;34
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摘要:
搜索关键词: 一种 极微 金银 合金 镀金 键合丝 及其 制作方法
【权利要求书】:

1.一种极微细无金银合金镀金键合丝,其特征在于:它包括极微细无金银合金丝,所述极微细无金银合金丝是以高纯银为主体,添加无金改性元素熔铸拉拔而成;所述极微细无金银合金丝表面直接电镀有一层金膜层。

2.根据权利要求1所述一种极微细无金银合金镀金键合丝,其特征在于:所述改性元素包括Pd、Ca、Ce和La。

3.根据权利要求2所述一种极微细无金银合金镀金键合丝,其特征在于:所述的Pd、Ca、Ce和La的质量分别为1%wt的Pd、5-50ppm Ca,10-100ppm Ce、10-100ppm La。

4.根据权利要求1所述一种极微细无金银合金镀金键合丝,其特征在于:所述极微细无金银合金丝的直径为0.01mm-0.03mm。

5.根据权利要求1所述一种极微细无金银合金镀金键合丝,其特征在于:所述金膜层的厚度为80-200nm之间。

6.根据权利要求1所述一种极微细无金银合金镀金键合丝,其特征在于:所述高纯银的纯度为99. 999%以上。

7.如权利要求1-6所述一种极微细无金银合金镀金键合丝的制作方法,其特征在于,其具体步骤如下:

(1)取5N以上高纯银,分别与Pd、Ca、Ce、La熔炼成中间合金;

(2)熔铸银合金棒:将步骤(1)得到的中间合金与高纯银一起放置于单晶连铸炉内,经真空熔炼、定向凝固、拉铸成8mm银合金棒;

(3)拉拔丝材:将步骤(2)得到的8mm银合金棒经过粗拉、中拉、细拉、微细拉、极微细拉,拉拔成 0.01mm-0.03mm的极微细无金银合金丝;

(4)清洗退火:将步骤(3)得到的极微细无金银合金丝进行清洗、退火、风干,备镀覆用;

(5)采用极微细电镀装置进行镀覆金膜层,在镀覆金膜层时,将退火后的极微细无金银合金丝绕于6英寸铝轴上,每卷2-3万米,置于极微细电镀装置的放线系统轴上,丝线经带电导轮装置后形成阴极,连续穿过除油、第一清洗、活化、第二清洗、阳极、第三清洗和烘干槽,并由烘干槽烘干后收于收线系统的收线盘上,从而得到极微细无金银合金镀金键合丝;

(6)复绕分卷:根据不同用途复绕分巻,包装成品。

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