[发明专利]数据传送方法和装置

说明书

技术领域

本发明涉及数据处理领域，具体而言，涉及一种数据传送方法和装置。

背景技术

在PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition，等离子体增强化学气相沉积法)设备中执行复杂的工艺时，会分为多个工艺步骤。每个工艺步骤中涉及多种工艺参数及每种工艺参数的多个分段变化值，其中，每个分段变化值都包括起始值、终止值和持续时间三部分数据。例如，某个工艺步骤中包含的多种工艺参数为工艺的温度、压力、电源的功率和各种气体的流量以及上述每个工艺参数的多个分段变化值，上述工艺步骤中的工艺数据需要由上位机(工艺控制系统)传送至下位机(工艺执行系统)。

现有技术中PECVD设备中的数据传送方法是工艺步骤中的工艺参数一个分段变化值中的一部分数据(例如：起始值)占用上位机驱动程序中的一个变量，上位机将变量一个一个的传送至下位机。由于每次驱动程序都是一个变量对应一个下位机的地址逐个寻址逐个写入，所以对于一个工艺步骤而言，需要占用较长时间来进行工艺参数的传递，从而执行工艺所需时间较长，导致实时性差。并且，需将要传送的工艺参数名称及其对应在下位机中的地址逐一列在驱动程序的通讯驱动中，不便于工艺的保密性。

针对现有技术中PECVD设备中数据传送时间较长的问题，目前尚未提出有效的解决方案。

发明内容

本发明的主要目的在于提供一种数据传送方法和装置，以解决现有技术中PECVD设备中数据传送时间较长的问题。

为了实现上述目的，根据本发明实施例的一个方面，提供了一种数据传送方法。

根据本发明的数据传送方法包括：获取被传送数据的总字节数，其中，所述总字节数为所述被传送数据中包含的目标参数的总字节数；根据所述总字节数，建立字节型数组；根据所述目标参数，对所述字节型数组的数组元素赋值；以及定义目标变量，将所述目标变量发送至目的端，其中，所述目标变量的赋值为赋值后的所述字节型数组。

进一步地，所述被传送数据为工艺步骤，所述目标参数为所述工艺步骤中包含的工艺参数，其中，获取被传送数据的总字节数包括：获取所述工艺步骤中的所述工艺参数；遍历全部所述工艺参数，获取每个所述工艺参数包含的参数分段变化值；以及根据所述工艺参数的数据类型和每个所述工艺参数包含的所述参数分段变化值的数据类型确定所述工艺步骤的总字节数。

进一步地，根据所述工艺参数的数据类型和每个所述工艺参数的所述参数分段变化值的数据类型确定所述工艺步骤的总字节数包括：统计所述工艺步骤中包含的不同数据类型的种类以及每种所述数据类型的数量；以及根据每种数据类型的数量和所述数据类型所占的字节数确定所述工艺步骤的总字节数。

进一步地，在获取工艺步骤的总字节数之前，所述数据传送方法还包括：接收所述工艺参数添加指令；以及根据所述添加指令确定所述工艺步骤中包含的工艺参数以及每个所述工艺参数包含的所述参数分段变化值。

为了实现上述目的，根据本发明实施例的另一方面，提供了一种数据传送装置。

根据本发明的数据传送装置包括：获取单元，用于获取被传送数据的总字节数，其中，所述总字节数为所述被传送数据中包含的目标参数的总字节数；建立单元，用于根据所述总字节数，建立字节型数组；赋值单元，用于根据所述目标参数，对所述字节型数组的数组元素赋值；以及发送单元，用于定义目标变量，将所述目标变量发送至目的端，其中，所述目标变量的赋值为赋值后的所述字节型数组。

进一步地，所述被传送数据为工艺步骤，所述目标参数为所述工艺步骤中包含的工艺参数，其中，所述获取单元包括：第一获取模块，用于获取所述工艺步骤中的所述工艺参数；第二获取模块，用于遍历全部所述工艺参数，获取每个所述工艺参数包含的参数分段变化值；以及确定模块，用于根据所述工艺参数的数据类型和每个所述工艺参数包含的所述参数分段变化值的数据类型确定所述工艺步骤的总字节数。

进一步地，所述确定模块包括：统计子模块，用于统计所述工艺步骤中包含的不同数据类型的种类以及每种所述数据类型的数量；以及确定子模块，用于根据每种数据类型的数量和所述数据类型所占的字节数确定所述工艺步骤的总字节数。

进一步地，所述数据传送装置还包括：接收单元，用于在获取工艺步骤的总字节数之前，接收所述工艺参数添加指令；以及确定单元，用于根据所述添加指令确定所述工艺步骤中包含的工艺参数以及每个所述工艺参数包含的所述参数分段变化值。