[发明专利]一种两自由度运动真空吸盘管线结构

说明书

技术领域：

本发明涉及半导体光刻机领域，尤其涉及真空吸盘气管的布线。

背景技术：

真空吸盘是PCB光刻设备的重要组成部分，设备在工作过程中，真空吸盘通过真空吸附将需要刻蚀的基板紧紧贴合在工作台面，保证在刻蚀过程中基板的平整度。吸盘上有一系列的气路沟槽，并通过接头与气管连接，气管另一端连接在鼓风机上，通过抽真空与破真空实现对基板的吸附与释放。

气管管线的排布是光刻机的技术难题，吸盘在工作中需要X,Y两个方向前后左右移动，吸盘移动过程中会带动气管的摆动，摆动的气管会与机台上其它部分的构件干涉，阻碍吸盘的正常移动，严重时会扯断气管，烧毁电机。因此，合理的气管布置，让其运动限制在一定范围之内，结构紧凑合理，同时又不影响吸盘的运动，便是摆在光刻机面前的难题。

发明内容：

本发明的目的是提供一种两自由度运动真空吸盘管线结构，结构合理，有效的解决了真空吸盘在运动过程中气管的摆动影响的问题，且布局紧凑美观。

本发明的技术方案如下：

一种两自由度运动真空吸盘管线结构，该结构设置在机台上，包括真空吸盘，其特征在于：所述真空吸盘正下方设有支撑板，所述支撑板设置在机台上，所述真空吸盘下表面中间安装有装接头，所述支撑板上表面左右两侧分别设有滑轨，所述滑轨中间分别设有转接头，所述支撑板左右两端亦设有转接头，各转接头之间连接有短截气管，还包括拖链，所述拖链一端分别固定在支撑板端上，另一端分别固定在机台上，所述拖链上还固定有气管。

所述的短截气管在与装接头连接时与转接头之间均弯曲成一定弧度，并可以压缩拉伸，且在压缩与拉伸过程中，所有气管的总形变量保持不变。

所述真空吸盘在X、Y两个方向前后左右移动，带动连接在各转接头之间的气管在固定和有限的平面内运动。

所述支撑板上设有刻槽，所述滑轨在刻槽内滑动。

附图说明：

图1为本发明的主视图；

图2为本发明的A-A视图。

图3为本发明包含真空吸盘的三维立体视图；

图4为本发明去掉真空吸盘的三维立体视图。

具体实施方式：

如图1和图2所示，一种两自由度运动真空吸盘管线结构，该结构设置在机台上，包括真空吸盘10，所述真空吸盘正下方设有支撑板9，所述支撑板9设置在机台上，所述真空吸盘10下表面中间安装有装接头8，所述支撑板上表面左右两侧分别设有滑轨6a和6b，所述滑轨6a和6b中间分别设有转接头5a和5b，所述支撑板左右两端亦设有转接头4a和4b，各转接头之间连接有短截气管2a、2b、3a、3b，还包括拖链7a、7b，所述拖链7a、7b一端分别固定在支撑板9端上，另一端分别固定在机台上，所述拖链上还固定有气管1a、1b，如图3所示为本发明的三维立体视图。

所述的短截气管在与装接头连接时与转接头之间均弯曲成一定弧度，并可以压缩拉伸，且在压缩与拉伸过程中，所有气管的总形变量保持不变。

所述真空吸盘10在X、Y两个方向前后左右移动，带动连接在各转接头之间的气管在固定和有限的平面内运动。

所述支撑板上设有刻槽，所述滑轨在刻槽内滑动。

以本发明左侧部分结构为例，气管3a通过转接头8与真空吸盘10连接，气管2a通过转接头52与气管3a连接，气管1a通过转接头4a与气管2a连接，转接头8固定在真空吸盘10上，转接头5a固定在滑轨6a上，可在上面做直线运动，转接头4a和滑轨6a固定在支撑板9上，可随平台在Y方向做前后运动，拖链7a 一端固定在支撑板9上，另一端固定在机台上。

当真空吸盘10在Y方向上运动时，拖链可约束气管1a、1b按一定的轨迹运动，此时，X方向上运动的气管2a、2b、3a、3b不运动；

当真空吸盘10在X方向上运动时，如沿X负方向运动，真空吸盘10带动气管向左运动，此时气管2a、3a被压缩，2b、3b被拉伸，保持整个机台所有气管形变量稳定，同时将一根气管在Y方向的形变量微分到X方向。沿X正方向运动亦如此。

如图4所示为本发明去掉真空吸盘的三维立体视图。