[发明专利]光照射装置与绘制装置

权利要求书

1.一种光照射装置，其特征在于，包括：

光源单元，其具有在一个面上排列的多个光源部，上述多个光源部沿上述面而从不同方向朝规定位置出射激光，

照射光学系统，其配置在上述规定位置，将来自上述光源单元的激光沿光轴引导至照射面；

上述照射光学系统包括：

分割透镜部，其具有在与上述光轴垂直且沿上述面的排列方向上排列的多个透镜，利用上述多个透镜分割来自上述多个光源部的入射光，

光程差生成部，其具有多个透光部，所述多个透光部排列在上述排列方向上且彼此具有不同光程，所述光程差生成部使透过上述多个透镜的多个光束分别入射至上述多个透光部，

会聚透镜部，其在上述激光的路径上配置在与上述光程差生成部相比而更靠近上述照射面的一侧，使来自上述多个透光部的上述多个光束的照射区域在上述照射面上重叠；

上述分割透镜部与上述光程差生成部彼此接近配置，

上述多个光源部所包含的多个光源的像形成于上述多个透镜各自的出射面的附近，

来自上述多个透镜的上述多个光束一边向上述排列方向发散，一边入射至上述多个透光部，

沿着上述排列方向从上述多个透光部各自的出射面出射的光束的宽度小于上述多个透光部的间距。

2.一种绘制装置，其特征在于，包括：

权利要求1所述的光照射装置，

空间光调制器，其配置在上述光照射装置中的上述照射面上，

投影光学系统，其将被上述空间光调制器进行了空间调制的光引导至对象物，

移动机构，其使被进行了上述空间调制的光在上述对象物上的照射位置移动，

控制部，其与上述移动机构使上述照射位置移动同步地，控制上述空间光调制器。