[发明专利]半导体装置无效
申请号: | 201510096984.2 | 申请日: | 2015-03-04 |
公开(公告)号: | CN105280693A | 公开(公告)日: | 2016-01-27 |
发明(设计)人: | 押野雄一;小仓常雄 | 申请(专利权)人: | 株式会社东芝 |
主分类号: | H01L29/739 | 分类号: | H01L29/739 |
代理公司: | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人: | 张世俊 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 半导体 装置 | ||
1.一种半导体装置,其特征在于包括:
第2导电型的第1半导体区域;
第1导电型的第2半导体区域,设置在所述第1半导体区域上;
第2导电型的第3半导体区域,设置在所述第2半导体区域上;
第1导电型的第5半导体区域,选择性地设置在所述第3半导体区域上;
栅极电极,隔着与所述第5半导体区域相接的第1绝缘区域而设置在所述第3半导体区域内,在与从所述第3半导体区域朝向所述第2半导体区域的第3方向正交的第1方向上,隔着所述第1绝缘区域而与所述第3半导体区域相邻的部分的长度比隔着所述第1绝缘区域而与所述第5半导体区域相邻的部分的长度长;以及
第2导电型的第4半导体区域,选择性地设置在所述第3半导体区域上,具有比所述第3半导体区域中的位于与所述第5半导体区域之间的部分的第2导电型的载流子密度高的第2导电型的载流子密度,且相对于所述第1绝缘区域的所述第1方向侧的端部设置在所述第1方向侧。
2.根据权利要求1所述的半导体装置,其特征在于:所述栅极电极包含:第1部分,在所述第1方向上,隔着所述第1绝缘区域而与所述第3半导体区域相邻的部分的长度比隔着所述第1绝缘区域而与所述第5半导体区域相邻的部分的长度长;以及第2部分,相对于所述第1部分位于所述第3方向侧;并且
所述第2部分沿所述第3方向延伸。
3.根据权利要求2所述的半导体装置,其特征在于:所述第2部分在所述第1方向的长度比所述第1部分在所述第1方向的长度长。
4.根据权利要求2所述的半导体装置,其特征在于:所述第1绝缘区域包含朝向所述栅极电极延伸的第1部分,并且
所述第1绝缘区域的所述第1部分的至少一部分位于所述栅极电极的所述第1部分与所述第2部分之间。
5.根据权利要求1的半导体装置,其特征在于:进而包括隔着第2绝缘区域而设置在所述第3半导体区域内的第1电极,并且
所述第3半导体区域以及所述第5半导体区域设置在所述栅极电极与所述第1电极之间。
6.根据权利要求5所述的半导体装置,其特征在于:所述第1电极包括第1部分,在与所述第3半导体区域相邻的区域中,所述第1部分的所述第2半导体区域侧的所述第1方向的长度比所述第3半导体区域侧的所述第1方向的长度长。
7.根据权利要求5所述的半导体装置,其特征在于:所述第1电极包括:第1部分,在所述第1方向上,隔着所述第2绝缘区域而与所述第3半导体区域相邻的部分的长度比隔着所述第2绝缘区域而与所述第5半导体区域相邻的部分的长度长;以及第2部分,相对于所述第1部分位于所述第1半导体区域侧;并且
所述第1电极的所述第2部分沿所述第3方向延伸。
8.根据权利要求7所述的半导体装置,其特征在于:所述第2绝缘区域包含朝向所述第1电极延伸的第1部分,并且
所述第2绝缘区域的所述第1部分的至少一部分位于所述第1电极的所述第1部分与所述第2部分之间。
9.根据权利要求5所述的半导体装置,其特征在于:进而包括与所述第2绝缘区域相接且设置在所述第3半导体区域上的第1导电型的第6半导体区域。
10.根据权利要求9所述的半导体装置,其特征在于:所述第6半导体区域的第1导电型的载流子密度比所述第3半导体区域的第2导电型的载流子密度高。
11.根据权利要求5所述的半导体装置,其特征在于:所述第1电极连接于接地电位。
12.根据权利要求1所述的半导体装置,其特征在于:所述第5半导体区域的第1导电型的载流子密度比所述第3半导体区域的第2导电型的载流子密度高。
13.根据权利要求1所述的半导体装置,其特征在于:所述第5半导体区域的第1导电型的载流子密度比所述第2半导体区域的第1导电型的载流子密度高。
14.根据权利要求1所述的半导体装置,其特征在于所述第1半导体区域的第2导电型的载流子密度比所述第2半导体区域的第1导电型的载流子密度高。
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