[发明专利]微机电元件

权利要求书

1.一种微机电元件，其特征在于，包含：

一基板；

一质量块，包含一外框以及至少一内部凸出部，其中该外框的内部定义出一中空结构，而该内部凸出部与该外框直接连接、且自该外框向内延伸；

至少一弹簧，位于该中空结构内，与该至少一内部凸出部对应地直接连接；

一锚点，位于该中空结构内，与该至少一弹簧直接连接、且该锚点连接于该基板；

多个活动电极，与质量块连接并位于中空结构内；以及

多个固定电极，对应于多个活动电极而设置，并通过多个固定部以连接于基板；

其中，该微机电元件于该中空结构内仅包含单一锚点，且该质量块的该至少一内部凸出部通过该至少一弹簧以及该单一锚点，连接于该基板。

2.如权利要求1所述的微机电元件，其中，该锚点位于该质量块的几何中心位置或质量中心位置。

3.如权利要求1所述的微机电元件，其中，该锚点距离该质量块的质量中心位置一段距离。

4.如权利要求1所述的微机电元件，其中，该多个活动电极与多个固定电极分别包括在第一方向上设置的活动电极和固定电极以感测该第一方向上的移动，以及在第二方向上设置的活动电极和固定电极以感测该第二方向上的移动，该第一与第二方向不互相平行。

5.如权利要求1所述的微机电元件，其中，该多个活动电极与该多个固定电极形成多个差分式电容。

6.如权利要求1所述的微机电元件，其中，该多个活动电极连接于该至少一内部凸出部、或连接于该外框、或连接于该至少一内部凸出部与该外框之间。

7.如权利要求1所述的微机电元件，其中，该多个活动电极位于该至少一内部凸出部的两侧，且该多个固定电极位于该至少一内部凸出部的两侧。

8.如权利要求7所述的微机电元件，其中，又包括多个中间活动电极与多个中间固定电极，该多个中间活动电极连接于该质量块，其中该多个中间活动电极位于该锚点的两侧，且该多个中间固定电极位于该锚点的两侧。

9.如权利要求1所述的微机电元件，其中，该至少一弹簧为偶数个弹簧，分别将对应的偶数个内部凸出部与该锚点连接。

10.如权利要求9所述的微机电元件，其中，该偶数个弹簧为二个或四个。