[发明专利]一种真空弱离子束流收集放大装置

权利要求书

1.一种真空弱离子束流收集放大装置，包括高真空室（5）和电磁屏蔽盒（4），其特征在于：所述高真空室（5）设在电磁屏蔽盒（4）的上部，所述高真空室（5）内设有法拉第屏蔽筒（1），所述电磁屏蔽盒（4）内设有pA信号偏压放大电路（3），所述法拉第屏蔽筒（1）和pA信号偏压放大电路（3）通过双屏蔽接头（2）连接，所述高真空室（5）与电磁屏蔽盒（4）的连接部设有绝缘装置。

2.如权利要求1所述的一种真空弱离子束流收集放大装置，其特征在于：所述法拉第屏蔽筒（1）包括收集筒（6）和保护筒（9），所述收集筒（6）设在保护筒（9）内，所述收集筒（6）和保护筒（9）与双屏蔽接头（2）固定连接。

3.如权利要求2所述的一种真空弱离子束流收集放大装置，其特征在于：所述双屏蔽接头（2）包括收集杆（11）、接头电极（12）、收集杆屏蔽层（10）和接头电极屏蔽层（13），所述收集杆（11）与接头电极（12）螺纹连接，所述收集杆屏蔽层（10）分别与保护筒（9）和接头电极屏蔽层（13）连接，所述收集杆（11）与收集筒（6）连接，所述收集杆（11）的端部设有支撑陶瓷管（8），所述接头电极（12）与pA信号偏压放大电路（3）连接。

4.如权利要求3所述的一种真空弱离子束流收集放大装置，其特征在于：所述绝缘装置包括内绝缘陶瓷管（14）、外绝缘陶瓷管（15）和外屏蔽层（16），所述内绝缘陶瓷管（14）套接在接头电极（12）上，所述外绝缘陶瓷管（15）套接在接头电极屏蔽层（13）上，所述外屏蔽层（16）套接在外绝缘陶瓷管（15）上并与电磁屏蔽盒（4）连接。

5.如权利要求4所述的一种真空弱离子束流收集放大装置，其特征在于：所述pA信号偏压放大电路（3）包括外屏蔽输入端（18）、内屏蔽输入端（19）、信号输入端（20）、运算放大器（21）、参考电源输入端（24）和放大输出端（23），所述外屏蔽输入端（18）、内屏蔽输入端（19）、信号输入端（20）与运算放大器（21）的负极连接，所述参考电源输入端（24）与运算放大器（21）的正极连接，所述运算放大器（21）与放大输出端（23）连接，所述信号输入端（20）和放大输出端（23）之间设有反馈电阻（22），所述参考电源输入端（24）和运算放大器（21）之间设有分压电阻（25）和稳压二极管（26）。

6.如权利要求5所述的一种真空弱离子束流收集放大装置，其特征在于：所述外屏蔽层（16）与外屏蔽输入端（18）连接，所述接头电极屏蔽层（13）与内屏蔽输入端（19）连接，所述接头电极（12）与信号输入端（20）连接，所述参考电源输入端（24）与外部电源连接。

7.如权利要求3至6任一权利要求所述的一种真空弱离子束流收集放大装置，其特征在于：所述收集杆（11）和接头电极（12）的端部设有接头封接盖（17）。